1、目的:将光刻胶通过移印方式涂布在已清洗OK的玻璃表面并完成预烤2、使用范围:使用于湿制程PR涂布站3、职责:31、作业员:光刻胶的配置相关记录表单的填写及工作现场的5S清洁32、生产组长:负责物料的领取、保管现场工作的安排与指导及5S维护33、质管部:对已涂胶玻璃的抽检机台工艺参数的确认及操作规范的监督稽核34、设备部:机台的日常维修及定时保养4、生产治工具:涂胶机、预烤炉、光刻胶、稀释剂、量杯、粘度杯、漏斗、无尘布、光刻胶瓶、丙酮、ITO玻璃、无尘纸、乳胶手套5、作业程序:51涂胶机作业流程操作内容及注意事项1按电源键开起。2先确认匀胶轮与涂胶轮是正常开启状态,否则立即通知组长进行确认,3观察上辊筒、下辊筒相对应的涂胶轮与支撑轮是否正常转动。4转动上辊筒调速至同时将下辊筒调速至40±5rpm进行涂胶轮检查看是否有涂胶轮刮伤或涂胶轮上有异物并用无尘纸丙酮进行清洗擦拭直至异物去除如有刮伤立即通知组长确认5清洗OK后准备上胶1将前一天配制OK的光刻胶进行测试参照《光刻胶配制规范》数值为40±5s2上胶打开涂胶仓门将已配制OK的胶放入并把泵连接的打液管的一头放入光刻胶瓶内按泵、滴胶两个开关将回收液管放入回收胶瓶内即可3胶滴至匀胶轮上后将匀胶轮手动调至与涂胶轮压紧(参照将匀胶轮与涂胶轮参数,同时涂胶轮调至对应玻璃厚度的参数)4如果亮线可用无尘布沾胶对准亮线轻拭除亮线,也可用风枪对准亮线处轻轻吹。5重新检查涂胶机是否正常。6通知PR前清洗开始清洗玻璃7当玻璃流至涂胶机前传送段时再次确认玻璃厚度同时检查匀胶轮压入量及涂胶轮的压入量必须在指定范围内。8机器出现故障时必须第一时间停机(并保持现场,禁止私自处理)同时通知维修人员及向上级人员反馈1关机先用稀释剂循环将胶轮冲洗再用无尘纸将其擦拭干净并将涂胶轮与匀胶轮之间松开留有空隙1mm2mm2洗机时,须把涂胶过滤芯内的光刻胶排干净,再用稀释剂循环3分钟以上,并确保过滤芯内装满稀释剂(严禁使用丙酮及其他溶剂进行循环)3按电源开关,将机台关闭。
开机
操作明细
关机
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f4将涂胶区域的5S做好,垃圾带出车间。
52预烤炉:521将电源打开,同时检查加热开关是否开启。522等待预烤温度恒定(各段温度在工艺参数范围之内)后方可进行涂胶预烤。6、管控重点:61光刻胶的粘度测试(参照光刻胶配制规范)。62涂胶机异常处理方法。63预烤温度的监控(必须在规定范围内r