点支撑式工件旋转驱动装置，稳定、可靠。操作符合人机工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、灵活。可配置自动氮气鼓泡系统，有效提高产品质量，缩短清洗时间。结构紧凑，净化占地面积小，造型美观、实用。关键件采用进口件，提高了设备的可靠性。采用进口耐腐蚀PP板材，防酸、防腐，有效避免酸雾的侵蚀。封闭式清洗，有效改善工作环境，保障操作人员安全。控制系统同时具备完善防腐、防潮功能，确保安全的工作环境化学湿台化学湿台适用于半导体行业中基片的制造、集成电路芯片的制造等清洗工艺过程。适用于2