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器一样,双频激光干涉仪也有向高分辨率,高精度,高测速的发展趋势。
3、总结
双频激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的应用之一是工业中最具权威的长度测量仪器。双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪最终摆脱了计量室的束缚,更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。
用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初仅用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上,以后又用于加工中心的定位系统中。但由于在一般机床上使用感应同步器和光栅一般能达到精度要求,而激光仪器的抗振性和抗环境的干扰性能差,且价格较贵,目前在机械加工现场使用较少。
随着双频激光干涉仪向着高分辨率、高精度、高测速方向的发展,其研究领域也在进一步拓宽。希望我们能在双频激光干涉仪这方面的研究有所进展和突破,研制出具有先进水平的测量仪器。
参考文献
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