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触发电平而使计数器停止计数,使激光器强度或干涉信号强度变化的主要原因是空气湍流,机床油雾,切削屑对光束的影响,结果光束发生偏
f移或波面扭曲。这种无规则的变化较难通过触发电平的自动调整来补偿,因而限制了单频干涉仪的应用范围,只有设法用交流测量系统代替直流测量系统才能从根本上克服单频激光干涉仪的这一弱点。
而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点,它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器,所不同者,一方面是当可动棱镜不动时,前者的干涉信号是介于最亮和最暗之间的某个直流光平,而后者的干涉信号是一个频率约为15MHz的交流信号;另一方面,当可动棱镜移动时,前者的干涉信号是在最亮和最暗之间缓慢变化的信号,而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f,结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90,依然可以得到合适的电信号。由于这一特点,双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定,既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
图四是双频激光干涉仪的实物图,图五是双频激光干涉仪在实际测量中的应用。
图四双频激光干涉仪实物图
图五对机床运动进行测量26双频激光干涉仪的优越性:
f精度高:双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到um量级,细分后更可达到
m量级。
应用范围广:双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
环境适应力强:即使光强衰减90,仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点,双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机,也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
实时动态测速高:现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1ms,有的甚至于十几ms,适于高速动态测量。
27双频激光干涉仪发展趋势:同大多数测量仪r
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