目
摘
录
要1
0前言21微电子技术的历史及现状211微电子技术的发展史212微电子技术的巨大作用213微电子技术的危机32微电子技术的发展方向321制造工艺的进步322微电子技术发展的新方向103中国微电子技术发展展望1231中国微电子技术发展过程1232中国发展微电子技术的必要性1333中国发展微电子技术应注意的方面134结论14参考文献15
ff21世纪微电子技术发展方向浅析
摘要微电子也就是集成电路它是电子信息科学与技术的一门前沿学科微电子技术涉及的面非常广泛从半导体材料半导体工艺到半导体器件单元电路乃至于各种类型集成电路的设计和制造都是微电子学科覆盖的范围随着集成电路技术的发展使整机电路与元件器件之间的明确界限被突破器件问题电路问题和整机系统问题已经结合在一起体现在一小块硅片上这就形成了固体物理硅器件工艺与电子学三者交叉的新技术学微电子学21世纪将是微电子技术与产业持续发展的新世纪微电子制造业作为一项战略性的基础产业对于促进我国国民经济持续发展保证国家安全具有举足轻重的地位因此了解微电子技术的发展历史探索微电子技术的发展方向解决微电子技术发展过程中存在的问题是至关重要的关键词关键词微电子技术集成电路制造工艺半导体器件
I
troductio
toMicroelectro
icsTer