有深远影响微机电系统MEMS技术是建立在微米纳米技术micro
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ology基础上的2l世纪前沿技术是指对微米纳米材料进行设计加工制造测量和控制的技术它可将机械构件光学系统驱动部件电控系统集成为一个整体单元的微型系统这种微机电系统不仅能够采集处理与发送信息或指令还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令进行操作它用微电子技术和微加工技术包括硅体微加工硅表面微加工LIGA和晶片键合等技术相结合的制造工艺制造出各种性能优异价格低廉微型化的传感器执行器驱动器和微系统微机电系统MEMS是近年来发展起来的一种新型多学科交叉技术该技术将对未来人类生活产生极大影响它涉及机械电子化学物理光学生物材料等多学科微机电系统MEMS的研究取得很多成果在微传感器方面利用物质的各种特性研制出了各种微型传感器在微执生器方面有微型马达微阀微泵及各种专用微型机械已组成微化学系统和DNA反应室此外还有其它很多方面的应用随着信息时代发展需要后硅时代的将来还无法预料但微电子方面的科学工作者普遍期望基于分子结构新方案和工作原理的发展在基础研究方面已有分子电子的设想但还不能估计其技术可转换性有机微电子技术超导微电子技术纳米电子技术等都将是微电子领域新的亮点7
3中国微电子技术发展展望
31中国微电子技术发展过程中国半导体技术在世界上起步较早1958年世界上半导体技术起步不久我国就建成了第一个晶体管厂1965年中国制造出自己的第一块集成电路20世纪70年代由于体制等各个方面的影响使得中国的微电子技术落后于国际水平80年代国家陆续建立了一批工厂和科研院所来进行集成电路的研究和生产但由于政策上没有相应的措施大量的投人并没有带来相应的成果中国微电子技术的水平与国际先进水平相比差距越来越大进入90年代后政府和国内厂商大量引进国外的资金和先进技术成立了许多合资以及独资企业这些企业为中国微电子行业的进步起到了很大的推动作用现在我国微电子产业在结构上设计制造封装三业并举的局面已逐步形成如在芯片生产上有首钢NEC上海贝岭中芯国际等芯片设计上有北京华大大唐微电子无锡矽科杭州士兰等但是目前的中国的微电子产业还存在着很多严重的问题
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f那就是没有多少属于自己知识产权的产品产业规模小工艺落后产品档次低研发能力弱产业结构也不够完整而这将严重影响我国的经济利益和国防安全32中国发展微电子技术的必要性当今世界经r