龙源期刊网httpwwwqika
comc
透明导电氧化物薄膜的研究现状及发展趋势
作者：杨秀峰来源：《科技视界》2019年第02期
【摘要】透明导电薄膜属于存在视觉层面上的透明度，也存在导电能力的薄膜材料，具体包含了金属导电薄膜、氧化物导电薄膜、其他化合物导电薄膜等。本文主要讲述当前研究和应用最为广泛的透明导电氧化物（TCO）薄膜，介绍了了透明导电氧化物薄膜的特性，制备方法，应用以及发展趋势。
【关键词】透明导电氧化物光电特性制备工艺发展趋势
中图分类号：TB3832文献标识码：A文章编号：20952457（2019）020104003
【Abstract】Thetra
spare
tco
ductivefilmisafilmwhichiselectricallyco
ductivea
dhasahightra
spare
cyi
thevisiblelightra
ge，a
dmai
lyhasametalco
ductivefilm，a
oxideco
ductivefilm，othercompou
dco
ductivefilm，apolymerco
ductivefilm，a
dacompositefilmco
ductivefilmItmai
lyi
troducesthemostwidelystudiedtra
spare
tco
ductiveoxide（TCO）films，a
di
troducesthecharacteristics，preparatio
methods，applicatio
sa
ddevelopme
ttre
dsoftra
spare
tco
ductiveoxidefilms
【Keywords】TCOOpticala
delectricalpropertiesFabricatio
methodDevelopme
tte
de
cy
0引言
步入二十世纪八十年代之后，材料科技蓬勃发展，而薄膜技术也随之发展起来，无论是学术领域还是实践领域均获取到了较多的成果。在材料科学之中，薄膜材料和有关技术始终是研究的热点领域。特别存在高导电性、可见光范围内的高透光性和红外光范围内的高反射性等优势特征的透明导电薄膜更是受到了各个专家学者的重视。
以往我们意识中导电物质，像金属、石墨等均为非透明物质，而像玻璃、水晶等透明物质是不具备导电能力的。透明导电薄膜存在透明与导电此两方面的特点，由此变成了特色化的薄膜功能材料，可以说其在光点产业领域之中拥有极为广阔的开发潜力。自1907年开始，Bakdeker通过实验得出了第一种透明导电薄膜CdO之后，S
O2基薄膜、I
2O3基薄膜等各类透明导电薄膜材料接连问世，并得到了普遍的应用，到目前为止已经形成了不小的市场规模。
在经过了数百年发展历程之后，现阶段的透明导电薄膜具体包含了金属膜、金属氧化膜、其它化合物膜等众多类型。本文将对透明导电氧化物薄膜的特性，及其制备方法与应用领域的现状进行介绍。
f龙源期刊网httpwwwqika
comc
1透明导电氧化物薄膜特性
透明导电氧化物薄膜具有以下特性：
（1）良好的导电性。具体就是源自于氧缺位和掺杂此两方面因素。合理的计量、生长和退火条件属于达成氧缺位的有效措施合理的掺杂不仅能r