下述步骤作统计计算:
4511采样点的粒子浓度
C1
C01000283
……………………(1)
式中:C1某一采样点的粒子浓度,粒m3;C0某一采样点的粒子浓度(仪器读数),粒L;
4512采样点的平均粒子浓度
AC1C2C
…………………(2)N
式中:A某一采样点的平均粒子浓度,粒m3;Ci某一采样点的粒子浓度(i1,2,…,
),粒m3;N某一采样点上的采样次数,次。
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fSOPQA01002
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4513平均值的均值
MA1A2AL…………………(3)L
式中:M平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒m3;Ai某一采样点的平均粒子浓度(i1,2,…,L),粒m3;L某一洁净室(区)内的总采样点数,个。
46结果评定判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述条件:
461洁净室(区)空气洁净度级别表
洁净度级别
100级10000级100000级300000级
尘粒最大允许数立方米
≥05μm
≥5μm
3,500
0
350,000
2,000
3,500,000
20,000
10,500,000
60,000
462每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。
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