SOPQA01002
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洁净区悬浮粒子监测标准操作规程
1目的：为规范洁净区尘埃粒子检测标准操作规程。
2范围：适用于洁净区尘埃粒子检测的操作。
3责任：QA洁净度监测人员。
4程序：
41概述：洁净区悬浮粒子监测采用计数浓度法，既通过测定洁净区环境内单位体积空气中
含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。
42仪器：Y099型激光尘埃粒子计数器。
43监测原理：空气中悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面
积成正比。
441测试规则
4411洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～26℃，相对湿度控制在45～65之间为宜）。4412压差：空气洁净度不同的洁净室（洁净区）之间的压差应≤5Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（洁净区）一般呈相对正压。
442测试状态
4421静态测试和动态测试
静态测试时，室内测试人员不得多于2人。测试报告见厂房洁净度悬浮粒子监测记录表。
动态测试指洁净室已处于正常状态下的测试。
443测试时间测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30mi
后开始。
444悬浮粒子计数
4441采样点数目及其布置
最少采样点数目，悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目见下表1。
表1最少采样点数目
面积S
洁净度级别
m2
100
100000
300000
S＜10
2～3
2
2
10≤S＜20
4
2
2
20≤S＜40
8
2
2
40≤S＜100
16
2
2
100≤S＜200
40
3
3
注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对非单向流洁净室，指的是房间面
积。
2
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44411采样点的位置
a采样点一般在离地面08m高度的水平面上均匀布置。
b采样点多于5点时，也可以在离地面08m15m高度的区域内分层布置，但每层不少
于5点。
c采样点的布置还可根据需要在生产及工艺关键操作区增加采样点。
4442对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不
得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。
4443采样量：不同洁净度级别每次最小的采样量见表2。
洁净度级别
表2每次最小采样量
采样量，L次
≥05μm
≥5μm
100
566

10000100000
283
85
283
85
3000004444采样注意事项：
283
85
a采样管口宜向上。
b布置采样点时，应避开回风口。
c采样时，测试人员应在采样口的下风侧。
451结果计算
悬浮粒子浓度的采样数据应按r