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11位移测量及其传感器简介
位移包括线位移和角位移。在工业生产过程中需要大量的位移检测,而且位移检测还是测量诸如力、扭矩、速度、加速度、流量等参数的基础。
位移是矢量,其不仅具有大小,而且还具有方向。在实际测量中,应使二者方向重合,这样才可以得到比较满意的测量结果。若二者的方向不重合,则会使测量结果产生较大的误差。
在具体测量时,要依据测量对象的不同,而灵活选择测量点、方向与系统。位移传感器,放大电路以及显示器组成了位移测量系统。其中选用合适的位移传感器是本次设计的关键。
应用场合不同,所选用的传感器也不同。表111中是一些主要位移传感器的性能与特点的介绍。
表111常用位移传感器一览表
型式
滑线式电阻式
变阻器式
线位移角位移线位移角位移
非粘贴的
应粘贴的变式
半导体的
电感自感式式
变气隙型螺管型特大型
测量范围1300mm0360°11000mm060r±015应变±03应变
±025应变
±02mm152mm
3002000mm
精确度±01±01±05±05
直线性±01±01±05±05
特点分辨力较好,可静态或动态测量。机械结构不牢固
结构牢固,寿命长,但分辨力差,电噪声大
±01
±1不牢固
±23±23
±1
满刻度±
20
±3
使用方便,需温度补偿
输出幅值大,温度灵敏性高
只宜用于微小位移测量
0151
测量范围较前者宽,使用方便可靠,动态性能较差
f差动变压器
±00875mm
±05%
±05
分辨力好,受到磁场干扰时需屏蔽
涡电流式
同步机
微动同步器旋转变压器电容变面积式
变间距
霍尔元件
感应同步器
直线式旋转式
计量光栅
长光栅圆光栅
长磁尺磁尺
圆磁尺
角度编码器
接触式光电式
±1
±25±250mm

3
360°
±01°±7°
±10°±60°
±1
103103mm
±0005
10310mm
01
±15mm103104mm0o360°103103mm0o360°103104mm0o360°
05
25μm
250mm±05°
3μm1m
±05”5μm1m±1”
<3±05
分辨力好,受被测物体材料、形状、加工质量影响可在1200rmi
转速工作,坚固,对温度和湿度不敏感
±005±01
非线性误差与变压比和测量范围有关
±1
受介电常数因环境温度、湿度而变化的影响分辨力很好,但测量范围很小,只能在小范围内近似地保存线性结构简单,动态特性好
模拟和数字混合测量系统,数字显示直线式感应同步器的分辨力可达1μm
同上长光栅分辨力可达1μm
测量时工作速度可达12mmi

0o360°0o360°
106rad106rad
分辨力好,可靠性高
本次毕业设计所采用的光电编码器具有许多优点,比如响应快、精度高、抗r
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