来的许多新技术，如金属有机化学缺陷相沉积、热丝化学气相沉积、等离子体辅助化学气相沉积门、等离子体增强化学气相沉积及激光诱导化学气相沉积等技术。化学气相冷凝法CVC主要通过有机高分子热解获得纳米粉体，具体过程是先将反应室抽到104Pa或更高真空度，然后注入惰性气体He，使气压达到几百帕斯卡，反应物和载气He从外部系统先进入前部分的热磁控溅射CVD装置由化学反应得到反应物产物的前驱体，然后通过对流达到后部分的转筒式骤冷器，用于冷却和收集合成的纳米微粒。溶胶凝胶法是用易水解的金属化合物无机盐或金属盐在某种
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f纳米材料的制备方法研究进展
溶剂中与水发生反应，经过水解与缩聚过程逐渐凝胶化，再经干燥P烧结等后处理得到所需的材料，其基本反应有水解反应和聚合反应，它可在低温下制备纯度高、粒径分布均匀、化学活性高的单、多组份混合物分子级混合，并可制备传统方法不能或难以制备的产物。我国清华大学曾庭英5等人采用醇盐法制备纳米级微孔TiO2玻璃球，孔径为10～60
m。水热法是通过高温高压在水溶液或蒸汽等流体中合成物质，再经分离和热处理得到纳米微粒。水热条件下离子反应和水解反应可以得到加速和促进，使一些在常温下反应速度很慢的热力学反应，在水热条件下可以实现快速反应，依据反应类型不同分为：水热氧化、还原、沉淀、合成、水解、结晶等，该法制得的纳米粒子纯度高、分散性好、晶形好且大小可控。郭景坤6等人采用高压水热处理，将化学制得的ZrOH4胶体置于高压釜中，控制合适的温度和压力，使氢氧化物进行相变，成功地得到了10～15
m的形状规则的ZrO2超微粒。化学沉淀法是在金属盐类的水溶液中控制适当的条件使沉淀剂与金属离子反应，产生水合氧化物或难溶化合物，使溶液转化为沉淀，然后经分离、干燥或热分解而得到纳米级超微粒。化学沉淀法可分为直接沉淀法、均匀沉淀法、共沉淀法和醇盐水解沉淀法。直接沉淀法是指金属离子与沉淀剂直接作用形成沉淀。均匀沉淀法是指通过预沉淀剂在溶液中的反应缓慢释放出沉淀剂，再与金属离子作用形成沉淀。醇盐水解法是由金属醇盐遇水分解成醇和氧化物或其水合物沉淀。共沉淀法是在混合的金属盐溶液中添加沉淀剂得到多种成份混合
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f纳米材料的制备方法研究进展
均匀的沉淀，然后进行热分解得到纳米微粒。由于冷冻干燥过程冷冻液体并不进行收缩，因而生成的微粒表面积较大，可较好地消除粉料干燥过程中粉末团聚现象，目前该法已r