图46半导体规对检测器的工作原理（a）成分有差别，形貌无差别；（b）形貌有差别，成分无差别；（c）形貌成分都有差别
的情况。例如分析图中的P点，P位于检测器A的正面，使A收集到的信号较强，但P点背向检测器B。使B收集到较弱的信号，若把A和B的信号相加，则二者正好抵消，这就是成分像；若把A和B二者相减，信号放大就成了形貌像。如果待分析的样品成分既不均匀，表面又不光滑，仍然是A、B信号相加是成分像，相减是形貌像，见图46c。
利用原子序数衬度来分析品界上或品粒内部不同种类的析出相是十分有效的。因为析出相成分不同，激发出的背散射电子数量也不同，致使扫描电子显微图像上出现亮度上的差别，从亮度上的差别，我们就可根据样品的原始资料定性地判定析出物相的类型。
实验所用仪器
（一）环境扫描电子显微镜
产品型号Qua
ta200
仪器介绍Qua
ta系列扫描电子显微镜是FEI公司最新一代的通用型扫描电子显微镜，结合FEI飞利浦最新研究成果和计算机、电气控制方面的最新技术，FEI飞利浦新推出的Qua
ta系列扫描电子显微镜成为目前技术先进、操作方便、维护简单的扫描电镜产品，主要用于各种材料的表面形貌观察和分析，目前已成为材料科学、生命科学研究中不可缺少的工具。新型环境扫描电镜实现了人们所追求的在自然状态下样品观察的目标。数字化、微机控制扫描电镜，完全取代模拟图像，多种记录方式，方便网上传输，并可用鼠标完成全部操作功能。
f图47Qua
ta200扫描电子显微镜
主要附件：能谱仪，高温操作台冷台
技术参数
分辨率：30KV高压下分辨率为35
m环扫条件下分辨率为35
m具有高真空、低真空和环境真空三种模式；其中低真空和环境真空模式下真空度为
01～40Torr1～5000Pa样品室压力最高达2600Pa加速电压200V～30kV，连续调节分冷台和热台操作。冷台：温度检测精度05℃；操作温度范围为：5℃～60℃。热
台：操作温度最高为1000℃。
技术特点
环境扫描可检测活体的、湿的样品，并可作样品的微区元素分析。特别适用于对不经表面处理的含水样品（生物、化学）等及非导体样品（塑料、陶
瓷、玻璃、水泥）等的测试环境真空模式可以在最大2600Pa下进行观察，高温台可以升温至1000度，因此可
以用于在各种气氛中原位观察形貌。在三种模式下的二次电子分辨率均为35
m，在各种真空模式下均能同时获取二次电子、背散射电子及能谱的信息。而且，在低真空条件下得到的二次电子像为100％纯的二次电子像。
（二）Sirir