作中通用性能最好的检测器。它的主要优点是：对于晶体X射线衍射使用的
X射线均具有很高甚至达到100的量子效率；使用寿命长，稳定性好；此外，它和PC一样，具有很短的分辨时间（107秒数量级），因而实际上不必考虑由于检测器本身的限制所带来的计数损失；它和PC一样，对晶体衍射工作使用的软X射线也有一定的能量分辨本领。因此通常X射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。防散射狭缝用来防止一些附加散射（如各狭缝光阑边缘的散射，光路上其它金属附件的散射）进入检测器，有助于减低背景。防散射狭缝是光路中的辅助狭缝，它能限制由于不同原因产生的附加散射进入检测器。例如光路中空气的散射、狭缝边缘的散射、样品框的散射等等。此狭缝如果选用得当，可以得到最低的背底，而衍射线强度的降低不超过2％。如果衍射线强度损失太多，则应改较宽的防散射狭缝。接收狭缝用来限制所接收的衍射光束的宽度。接收狭
f缝是为了限制待测角度位置附近区域之外的X射线进入检测器，它的宽度对衍射仪的分辨能力、线的强度以及峰高背底比有着重要的影响作用。发散狭缝用来限制发散光束的宽度。发散狭缝的宽度决定了入射X射线束在扫描平面上的发散角。Sollar狭缝是一组平行薄片光阑，实际上是由一组平行等间距的、平面与射线源焦线垂直的金属簿片组成，用来限制X射线在测角仪轴向方向的发散，使X射线束可以近似的看作仅在扫描圆平面上发散的发散束。测角仪是衍射仪上最精密的机械部件，用来精确测量衍射角。X射线管衍射用的X射线管实际上都属于热电子二极管，有密封式和转靶式两种。前者最大功率不超过25KW，视靶材料的不同而异；后者是为获得高强度的X射线而设计的，一般功率在10KW以上。能量色散型X射线衍射仪半导体固体检测器（SSD）是一种具有极高能量分辨本领的射线强度检测器，能用来测量软X射线的
能量和波长。能量色散型X射线衍射仪（EDXRD）是一种以SSD为基础的一种新型衍射仪，使用连续波长的X射线照射样品，在一个固定的角度位置测量衍射线的波长谱，从而计算各衍射晶面的间距d值。EDXRD也是一种高速多晶衍射设备。位敏正比检测器衍射仪位敏正比检测器（PSPC）是一种新型射线检测器。它不仅能进行粒子计数测量，而且通过与它配合的一套时间分析系统能够同时得到粒子进入检测器窗口的位置坐标。因此用PSPC进行测量可以获得如用感光软片进行记录时同样丰富的信息。PSPC得到的信息直接实时地由计算机系统进行r