1lmi
＝006m3hr
BulkGas一般流速为10ms压力75kgcm2Ar、He1015msSiH4、PH35msCO2、NH315msSpecialGasNH3、N2O、HCL、BCL3、HF、HBr、SF6等液态气体，流速应小于1ms一般气态钢瓶10ms，液态钢瓶则蒸汽压愈低，流速要愈慢，否则管件上将生结露现象，影响Regulator的准确性LPMm3hrkgcm2tTube14