基于机器视觉的液晶基板表面缺陷检测系统
摘要：介绍了一种基于机器视觉的液晶玻璃基板质量在线检测系统。利用分布式视觉处理技术、采用模块化的图像处理系统设计，能够实现缺陷的精确提取，能实现对缺陷的智能分类和分级，满足了LCD液晶玻璃基板质量在线检测的需要。关键词：机器视觉；玻璃基板；缺陷检测LCDglasssubstratesurfacedefectI
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Abstract：ALCDglasssubstratesurfacedefecti
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中图分类号：TP273文献标识码：B
0引言
液晶示器在很多产品上得到广泛的应用，已经逐渐取代了CRT显示器。薄膜晶体管液晶显示器（TFT－LCD）已经成为液晶显示器的主流产品。随着液晶显示器件制造技术的飞速进步，也带动了所需基板的更新换代。在传统的玻璃缺陷检测中，通过激光扫描或多组静态传感器来实现平板玻璃缺陷的自动检测。检测系统采用缺陷分析光束图和标准缺陷光束图表对比而鉴别出玻璃缺陷。手工检验速度慢，受主观影响大，同时受聚光灯的分辨率的影响，检测的宽度也很狭窄直接影响检测速度1。随着现代生产技术的不断发展，高端产品（如液晶屏幕）对玻璃原板的质量要求越来越高。TFT－LCD显示器制造工艺包括多次精密光刻，要求基板外形尺寸加工精度达到01mm误差，制造电路的基板表面应无任何划伤和污点，缺陷应小于几微米，对玻璃基板有非常严格的要求2。因此，要全面保证玻璃质量，提高玻璃质量等级，对玻璃表面质量进行高效准确的在线实时检测就显得十分重要。
1系统结构
本系统是针对11001300mm宽的生产线，采用分布式视觉系统，利用一个主机完成人机交互、缺陷统计、玻璃分级、采集信号控制、数据汇总和分析、以及实现对各硬件的控制；利用三台从机安装15块图像采集卡分别对各自接收到的图像进行处理，并将实时图像数据发送给主机。由于液晶玻璃基板生产线的玻璃幅宽比较宽，单台相机无法满足检测要求，因此系统采用了多个光源、相机、采集卡、工业计算机组成的图象采集处理部分，由这些模块协同完成图像的采集和处理，保证对整个幅宽玻璃的100％检测。各从机和主机之间通过千兆以太网相连，与相机采用光纤进行数据传输，保证数据的可靠、快速传送，以现场总线的r