依据。为了对该传感器的特性进一步分析，对采样数据分别进行一阶拟合和二阶拟合，拟合后的误差曲线如图12所示。该传感器一阶拟合后最大偏差为006Hz，标准差为0162Hz，极限分辨
f龙源期刊网httpwwwqika
comc
力为005℃；二阶拟合后最大偏差为0026Hz，标准差为0077Hz，极限分辨力为0025℃，结果如表1所示。由测试结果可知，二阶系统拟合后比一阶系统误差更小，精度更高，更接近石英音叉温度传感器的实际模型。5结语本文提出了一种输出为频率信号的双切角石英晶体的石英音叉温度传感器，主要完成了以下四方面的内容：1）分析该传感器的工作原理、振动模式及谐振频率与温度的关系。搭建基于LabVIEW的传感器测试系统，完成了对该传感器温度频率特性的测试。2）测试结果：该石英音叉温度传感器，在0℃到100℃的温度范围内，该传感器灵敏度为2979Hz℃，迟滞度为0023，非线性误差为0019，分辨力为005℃。3）同时采用二阶拟合的方法，由测试结果表明，二阶拟合后系统误差更小，灵敏度更高，更接近于实际模型。4）实验结果表明，该测试系统性能稳定、数据准确可靠，能够实现对该传感器特性快速、科学的测量。参考文献：1冯冠平谐振传感器理论及器件M北京：清华大学出版社，2008：1441772ROGEROria，JORGEOtero，LAURAGo
zález，etalFi
iteEleme
tA
alysisofElectricallyExcitedQuartzTu
i
gForkDevicesJSe
sors，2013，13：715671693XUJu
，LIXi
，DUANJi
hua，etalHighprecisio
LowpowerQuartzTu
i
gForkTemperatureSe
sorwithOptimizedReso
a
ceExcitatio
JJour
alofZhejia
gU
iversity：Scie
ceC，2013，14（4）：2642744MENGLi
a，LIJiche
g，LUOZho
gbi
gModela
dExperime
talStudyofo
eDime
sio
alBeamwithBe
di
ga
dAxialVibratio
ModesJPiezoelectricSou
da
dLight，2012，31（5）：3393445JAYAPANDIANJ，SAKTHISWARRUPJ，SHEELA1OK，etalPSoCBasedEmbeddedDesig
a
dQuartzTu
i
gForkforLowTemperatureMeasureme
tSystemDesig
JJour
alofLaboratoryAutomatio
2012，17（2）144154
f龙源期刊网httpwwwqika
comc
6黄豪彩，杨灿军，陈道华等基于LabVIEW的深海气密采水器测控系统J仪器仪表学报，2011（1）：41457WHITLEYKN，BLACKWELLAFVisualProgrammi
gi
theWild：ASurveyofLabVIEWProgrammersJJour
alofVisualLa
guagesComputi
g，2001，12（4）：4354728何飞，靖永志，张昆仑基于LabVIEW的磁悬浮气隙传感器测试系统设计J传感器与微系统，2016，35（1）：85979李冬明，王厚志，高玺亮等基于LabVIEW的电能质量检测系统研究J哈尔滨理工大学学报，2012，17（4）：576310王琦，翟正军，郭阳明基于虚r