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石英音叉温度传感器测试系统
作者：徐军孟月霞刘春花马静来源：《哈尔滨理工大学学报》2017年第02期
摘要：石英音叉温度传感器一种高精度准数字温度传感器，输出为频率信号。它采用石英音叉谐振器作为热敏元件，将外界温度的变化转换为石英音叉谐振器谐振频率的变化。为实现对该传感器特性的测试，开发了基于LabVIEW的特性测试系统，为进一步优化传感器的性能打下基础。由实验结果表明，在0℃到100℃的温度范围内，该传感器的灵敏度为2979Hz℃，迟滞度为0023，非线性误差为0019，分辨力为005℃。该传感器具有体积小、灵敏度高、稳定性好等优点；其测试系统数据准确可靠、性能稳定，为该传感器的特性提供了一种可行的解决方案。关键词：石英音叉；温度传感器；LabVIEW；测试系统DOI：1015938jjhust201702009中图分类号：TP2129文献标志码：A文章编号：10072683（2017）02004406Abstract：Quartztu
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sors（QTFTS）isaki
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sorKeywords：quartztu
i
gfork；temperaturese
sor；LabVIEW；testi
gsystem0引言温度传感器是各种传感器中最为常用的一种，占整个传感器市场总需求量的40以上，广泛应用于生产实践的各个领域，如国防工程、空间技术、冶金、电子、食品、医药和石油化工等1。
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温度传感器是将非电学物理量转化为电学量，从而实现对温度的测量。传统的工业温度传感器按照材料及电子元件特性可分为铂电阻和热电偶两类，前者具有良好的测温精度和稳定性，但功耗较大，需通过AD转换器与微处理器连接，会损失测量精度；后者需要恒定的温度参考源，灵敏度低且非线性较高。而石英音叉温度传感器是通过石英晶体频率温度特性来实现对温度r