洛阳中岳实业有限公司硅单晶少数载流子寿命测试规定1范围和目的11适用范围：适用于本公司多晶拉制成单晶及磷检后单晶的测定12目的：121通过对少数载流子的测定来断定多晶产品质量的好坏122通过测定对工艺生产进行指导123寿命值可灵敏地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况，是单晶质量的重要检测项目2引用标准：GBT155319973测试原理：高频源提供高频电流经测试样品，但红外脉冲光照射样品时，单晶体内产生非平衡光生载流子，使样品产生附加光电导，样品电阻下降，由于高频源为恒压输出，因此，流过样品的高频电流幅值，此时增加I，光照消失后，I便逐渐衰退，其衰退速度取决于光生非平衡载流子在晶体内存在的平均时间（寿命值）按指数衰减，在取样器上产生的电压变化V，也按同样指数衰减。此信号。I经经检波器调和和高频滤波，再经宽频放大后输入到脉冲示波器，在示波器上显示出一条指数衰减曲线，对照标准曲线，可读出样品少数载流子寿命。4仪器设备及测试指标41仪器411DSYⅡ型单晶寿命测试仪412GOS620型双轨迹示波器42测试指标421测试单晶电阻率下限：硅单晶：310欧厘米422可测单晶寿命：10S5000S423Φ25mmΦ125mmL2mm50mm硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰法
424样品切面光滑，无刀痕，且经喷砂处理，表面干燥，无污染、变色。
f5测试步奏51开机：打开寿命仪电源总开关，打开示波器电源开关，仪器预热10分钟52用棉签沾自来水涂抹测试电极，将测试样品喷砂面放上并使其与电极均匀接触。如样品太轻接触不好，可用重物压上样品。53打开红外光源开关，调节红外光源输出电压调节示波器亮度选择合适的亮度，调节聚焦旋钮聚焦。54调节示波器上扫描时间，垂直衰减电压，波线位置，触发准位，触发模式旋钮，尽量使示波器上衰减曲线与标准曲线对照卡上的一致，55将标准曲线卡对上示波器上的衰减曲线，示波器上衰减曲线与标准曲线对照上X轴上相交，数出X轴上相交格数，乘上扫描时间旋钮所在档位。即为样品少数载流子寿命值。56所测寿命值与标准片寿命值的相对误差小于20时设备正常。57将样品按上述（5256）步奏测定。58测量完毕，调节红外光源电压至最小，关闭红外光源开关，关闭示波器电源，关闭寿命仪电源。6波形偏离的处理61如波形初始部分衰减较快，则用波形后部分测量，一般取下降到60以后部分读数。62如波形头部出现平顶现象，说明信号太强，应减弱光强，消除波形平顶现象，在小信r