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单晶硅太阳能电池
1基本结构
2太阳能电池片的化学清洗工艺2太阳能电池片的化学清洗工艺
切片要求:①切割精度高、表面平行度高、翘曲度和厚度公差小。②断面完整性好,消除拉丝、刀痕和微裂纹。③提高成品率,缩小刀钢丝切缝,降低原材料损耗。④提高切割速度,实现自动化切割。具体来说太阳能硅片表面沾污大致可分为三类:1、有机杂质沾污:可通过有机试剂的溶解作用,结合兆声波清洗技术来去除。2、颗粒沾污:运用物理的方法可采机械擦洗或兆声波清洗技术来去除粒径≥04m颗粒,利用兆声波可去除≥02m颗粒。3、金属离子沾污:该污染必须采用化学的方法才能将其清洗掉。硅片表面金属杂质沾污又可分为两大类:(1)、沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。(2)、带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如“电镀”)到硅片表面。
f1、用H2O2作强氧化剂,使“电镀”附着到硅表面的金属离子氧化成金属,溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。2、用无害的小直径强正离子(如H),一般用HCL作为H的来源,替代吸附在硅片表面的金属离子,使其溶解于清洗液中,从而清除金属离子。3、用大量去离子水进行超声波清洗,以排除溶液中的金属离子。由于SC1是H2O2和NH4OH的碱性溶液,通过H2O2的强氧化和NH4OH的溶解作用,使有机物沾污变成水溶性化合物,随去离子水的冲洗而被排除;同时溶液具有强氧化性和络合性,能氧化Cr、Cu、Z
、Ag、Ni、Co、Ca、Fe、Mg等,使其变成高价离子,然后进一步与碱作用,生成可溶性络合物而随去离子水的冲洗而被去除。因此用SC1液清洗抛光片既能去除有机沾污,亦能去除某些金属沾污。在使用SC1液时结合使用兆声波来清洗可获得更好的清洗效果。另外SC2是H2O2和HCL的酸性溶液,具有极强的氧化性和络合性,能与氧化以前的金属作用生成盐随去离子水冲洗而被去除。被氧化的金属离子与CL作用生成的可溶性络合物亦随去离子水冲洗而被去除。
3太阳能电池片制作工艺流程图太阳能电池片制作工艺流程图
具体的制作工艺说明
(1)切片:采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片。(2)清洗:用常规的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或碱)溶液将硅片表面切割损伤层除去30-50um。(3)制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。(4)磷扩散:采用涂布源(或液态源,或固态氮化磷片状源)进行扩散,制成PN+结,结深一般为03-05um。
f(5)周边刻蚀:扩散时在硅片周边表面形成的扩散层,会使r
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