，具有低驼峰灵敏度功能的伺服控制系统，能够减小一个系统中干扰的作用。双级硬盘驱动器系统的基本控制设计在57已经被提出，并且双级伺服系统的性能增强方法也已经被提出在12，13。
f本文提出了一个使用共焦扫描显微镜通过移动和调整对象来测量它的三维图像的三自由度精密混合工作台。由于其精密的分辨率和三维表面分析能力，共焦扫描显微镜可以观察到亚微米级尺寸的材料。混合工作台包含两个独立操作xyθ工作台，即粗动台和微动台。粗动台由三个直线电机驱动，微动台由四个音圈电机驱动。粗动台和微动台不是机械地相互联系，可以独立控制。为了说明控制混合工作台，笔者在本文提出了精密运动控制器。精密运动控制器由位置和速度控制回路，消除控制器出现饱和问题的抗饱和补偿器，合适功率的发电机，确定微动台确切位置的精密定位，观测和补偿微动平台扰动的扰动观测器组成。需要注意的是，在本文中，微动台的确切位置是微动台中心的位置，并且由微动台的方向角精确测定。精密运动控制器的性能通过实验进行评估。本文的其余部分安排如下：第2节中，描述混合工作台的系统概述。在第3节中，提出混合工作台的控制方法。在第4节中，给出混合工作台运动控制的实验结果。最后，在第5节中给出一些结论性意见。
2、混合工作台的描述21混合工作台概述首先，给出混合工作台的概述。图1显示的是本文中的混合工作台的示意图。混合工作台使用共焦扫描显微镜通过移动和调整对象来测量它的三维图像。共焦扫描显微镜拥有光学层析能力，并能产生三维表面轮廓。共焦扫描显微镜的测量原理是基于从物镜焦点反射的一束光线成像，而所有漫反射光通过针孔被过滤掉的事实。这创建了一个所有对象点的集中二维图像，这些点在扫描过程中位于焦平面内，类似地图的等高线。用自动变焦平面扫描整个样品产生高分辨率和扩大相应表面部分的图像。共焦扫描显微镜的垂直和水平分辨率为分别为30
m和140
m。混合工作台由两个独立操作xyθ工作台组成，即粗动台和微动台。粗动台产生对象初始位移，微动台提供对象最后调整位移。由于分辨率为031
m的激光干涉仪在微动台中作为位置传感器使用，精密控制对象最终的调整成为可能。空气轴承支承混合工作台的运动部件使他们可以无机械接触地浮动在底座上。底座材料是花岗岩，底座用隔离器相连接，可以抑制内部和外部的震动。22粗动台粗动台的示意图如图2。粗动台由三个直线电机驱动，使用14个空气轴承作r