机，其特点为输出转矩大、动态性能好、步距角小、驱动电源电流小、功耗低，但结构稍复杂，成本相对较高；导向支承部件：选用直线滚动导轨副，其特点是摩擦因数小，不易爬行，便于安装和预紧，结构紧凑；传动部件：选用滚珠丝杠副，其特点是传动效率高，运动平稳，使用寿命长，运用广泛；减速装置：不使用减速箱，在满足脉冲当量的需求时，可以有效简化系统结构，缩小机械尺寸，节约生产成本；检测装置：增量式旋转编码器；系统微控制器：选用MCS51系列的8位单片机AT89C52；2）方案二动力源：采用标准工业电源；执行元件：选用永磁式步进电机，其特点为不需要太大电流，绕组断电时具有自锁能力，优点是动态性能好、输出转矩大、驱动电流小、电动机不易发热，但制造成本高，步距角较大，配套的驱动电源要具有细分功能；导向支承部件：选用滚柱交叉导轨副，其特点是具有较高的承载能力和较高的刚性，可以获得较高灵敏度和高性能的平面直线运动，导向性好，自动定心，滚动摩擦阻力低；传动部件：选用滚珠丝杠副；减速装置：选用无间隙齿轮传动减速箱；检测装置：增量式旋转编码器；系统微控制器：选用可编程程序控制器（PLC）；3）方案三动力源：采用标准工业电源；执行元件：选用反应式步进电动机，其特点为步矩角可达1°15°，甚至更小，精度容易保证，起动和运行频率较高，但功耗较大，效率较低；导向支承部件：选用静压导轨副，其特点是需要将一定压力的油或气体介质
f通入导轨的运动件和导向支撑部件之间，使运动件浮在压力油或气体薄膜上，摩擦阻力很小；
传动部件：选用滑动丝杠副，其特点是结构简单，容易制造，减速传动比大，摩擦力大，具有自锁性，但低速或微调时可能出现爬行现象；
减速装置：选用无间隙齿轮传动减速箱；系统微控制器：选用AVR系列的Atmega16；（2）选择分析对比以上三个方案，其主要区别在于步进电动机、导轨副、丝杠螺母副、系统微控制器的选择和是否有必要使用减速箱。综合考虑设计任务和方案确定思想，因系统定位精度和最快移动速度相对并不是很高，故选用性能较好而性价比较高的混合式步进电动机已经足够；为了避免爬行现象，同时节约生产成本，且因该设计载荷较低，故选用直线滚动导轨副；滑动丝杠副在低速或微调时可能产生爬行显现，且为了能够满足±002mm的重复定位精度和004mm的定位精度，故选用滚珠丝杠副；控制系统选用AT89C52单片机，足以满足设计要求且较为廉价；由于本设计中要求系统结构紧凑r