（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（10）申请公布号CN104094160A（43）申请公布日20141008
（21）申请号CN2013800079322
（22）申请日20130108
（71）申请人船井电机株式会社
地址日本国大阪府大东市
（72）发明人村山学久后耕一井上尚树藤井仁
（74）专利代理机构隆天国际知识产权代理有限公司
代理人宋晓宝
（51）I
tCI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称MEMS器件以及具有投影功能的电子设备
（57）摘要
在MEMS器件1中，第一驱动部40被分割成第一驱动部分41和第二驱动部分42。第二驱动部50被分割成第三驱动部分51和第四驱动部分52。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件10倾斜。
法律状态法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
f法律状态公告日201410082015031120170517
法律状态信息公开实质审查的生效授权
法律状态公开实质审查的生效授权
f权利要求说明书
MEMS器件以及具有投影功能的电子设备的权利要求说明书内容是请下载后查看
f说明书
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