作。又如钛升华泵可以在102mmHg下工作，但其工作压强应小于1×105mmHg为好。
f3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。
这个化工手册有公式的，可以去查下！SQRTPMS是抽气率Q是系统漏气量，放气量。T是温度，P系统压力M是系统气体分子量！
真空计算常用公式1、玻义尔定律
体积V，压强P，PV＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。
f即P1P2＝V2V1）
2、盖吕萨克定律
当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1V2
＝T1T2＝常数）
当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高或P降低1℃，则它的体积
比原来增加或缩小1273。
3、查理定律
当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T
成正比，即：P1P2＝T1T2
在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高或降低1℃，它的压
强比原来增加或减少1273。
4、平均程：
λ＝5×103Pcm
5、抽速：
S＝dvdt升秒或S＝QP
Q＝流量托升秒P＝压强托V＝体积升t＝时间秒
6、通导：C＝QP2P1升秒
7、r