台台台台台3365046307141050336365043363151892702882882703363156303004623003156090120300420
备注
C012012
测长机
C013013C014014C015015
光学计三针万能工具显微镜大型工具显微镜小型工具显微镜光切显微镜
01级
φ0118～6585mm
±1mL±3m±3m
200×100mm150×50mm75×50mm
C016016
干涉显微镜测量显微镜±5mL1550001mmm0～25mm2mmm10mmm100mm≤600mm＞600mm1接触式干涉仪
005m01m02m
台台支台台台台台台台块块块块块
C017017C018018C019019
水平仪检定器水平仪投影仪测高仪
0～10mm0～150mm0～300mm0～200mm
一二级一二级
C020020
平面等倾干涉仪平面等厚干涉仪
001m002m
≤60mm60mm＜D≤100mm100mm＜D≤150mm150mm＜D≤200mmφ150mm
C021021
平面平晶
一二级一二级二等
f序号
计量器具名称
准确度
等级
一二级一二级一二级一二级
测量范围
一系列二系列三系列四系列
收费单位收费标准元块块块块块块台台台台台台台台台台台台台台台台支面75728484210180150063050442035733631572018904203603006004802882402702734042600
备注
C022022
长平晶高精度测角仪
045～1″～2″2″～5″5″以下1″＜3″
015m
310mm210mm0°～360°0°～360°0°～360°0°～360°0°～360°0°～360°0°～360°0°～360°
03～0m
C023023
中精度测角仪低精度测角仪光栅分度头
C024024
光学分度头多齿分度台圆度仪光电自准直仪自准直仪光电倾斜仪经纬仪水准仪光学象限仪多面棱体表面粗糙度比较样块角度块渐开线样板（两条曲线）
3″≤A≤6″＞6″
C025025C026026C027027C028028C029029C030030C031031C032032C033033C034034C035035
01″2″2″J1、J2J6、J30DS1DS310″02″
0″～10″0′～10′0°～360°0°～360°
0025～63
二等
套角块
rb10～200mm
f序号C036036C037037C038038C039039C040040C041041C042042
计量器具名称齿轮螺旋线样板（两条曲线）双频激光干涉仪测长稳频激光器光纤长度传递标准光纤损耗传递标准光时域反射计数控机床（三轴）
准确度25×10L≤5×10
8
5
等级
二等
测量范围β0°～30°0～25m633
m
1310
m窗口1310
m窗口；1550
m窗口1310
m窗口1310
m窗口1550
m窗口
收费单位收费标准元块台台台台台台67213231680126012606722814
备注
6
标准传递标准传递标准
UL02m15×10LmUA003dBdBUL2×105LmUA004dBdBU入2
m
工作计量器具
001
≤25m
f2．电磁计量器具（D）
序号计量器具名称工作基准r