这样就提高了波谱仪的成本。此外不适当的安装和操作也会使上述三点偏离共圆条件，所以要求较高的维护和操作水平。能谱仪的探测器可接收来自Si（Li）晶体所张立体角内的任何信号，对探测器在样品室内的位置无严格要求。就此点而言，造价比波谱仪低，且操作简便。
（e）能谱仪探测器的能量分辨率一般为140～150eV左右（分辨率与Si（Li）晶体的活性区面积有密切关系），波谱仪的分辨率一般约为5～10eV。因此能谱谱峰重叠较严重，信噪比也较差，谱峰重叠可通过数据处理于以剥离，当然由此会造成一定的分析误差。信噪比差还会影响到仪器的最低探测极限。此值与样品和仪器工作条件有关。对于能谱仪而言一般为千分之几的量级；波谱仪则为万分之几的量级。
（f）在能谱中还存在其它失真，如逃逸峰、脉冲堆积所造成的和峰、杂散辐射等。虽然这些失真大部分都可以辨认或于以修正，但这都是分析误差的来源。在波谱中失真较少。
（g）由于能谱仪的一些问题一方面引起分析误差，另一方面也造成了数据处理的复杂性。自80年代开始计算机就成为能谱仪的重要组成部分，对谱仪进行控制并联机处理数据。
f80年代中期以后更将计算机的作用扩大到图像处理等功能，成为能谱仪得以起飞的重要条件。波谱仪的数据处理相对地比较简单，较晚才开始配备计算机，这也是波谱仪发展较慢的原因之一。
（h）能谱仪和波谱仪的空间分辨率（指能分辨不同成分的两点之间的最小距离）基本相同。其原因是样品在电子束作用下产生特征X射线的区域是由电子的散射和穿透所决定的。在束斑不太大的情况之下，与束斑尺寸无关。然后在透射电子显微镜中，当入射电子尚未在样品中散射时已经穿透了样品，所以能够产生特征X射线的范围大大缩小。此时能谱仪的空间分辨率等于或小于样品的厚度。
f§36X射线
一、一、X射线衍射分析法
X射线的性质
1895年德国物理学家伦琴发现了一种新的射线。这种射线可以直线传播，经过电场、磁场时不发生偏转，具有很高的穿透能力。它能使空气或其它气体电离，并能杀伤生物细胞等等。这就是x射线。X射线本质上是电磁波，其波长范围大约在0011000A之间，介于
紫外线和射线之间。大量实践证明，x射线与其它电磁波和微观粒子一样，都具有波动和
粒子的双重特性，通常称为波粒二象性。x射线在传播过程中携带一定的能量，所以它能使荧光发光，底片感光，气体电离，能透过一般光线透不过的物体，我们通常利用这些效应来检测x射线的存在及其强度。
X射线衍射分析XRDr