。但是辉光反应无论从流程、成本以及技术的成熟度等方面思考，是非常适用于工业生产中。其在反应过程中呈现雾状形态，作用功率高，电极两端的温度与室温相近，在工业废气处理中具有较高的应用价值。
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2、低温等离子体分解废气的原因
低温等离子体之所以能够分解废气中的污染物，是由于其能够生成高能电子。其在分解过程中的流程为：电场与电子相互作用之后生成高能电子，高能电子通过与气体中的污染物发生碰撞，并产生了活性分子，活性分子再与污染物分子或污染物原子相结合并出现了化学反应，从而是使得废气中的污染物分子与空气的分离5。其次，两个活性分子的碰撞，能够使得大分子转变为小分子，从而起到废气清除的效果。
3、低温等离子体分解废气的应用
广东某一制药企业发现制药厂内有气味异常的现象，经过多处排查发现有机废气出现。需要针对废气的来源进行相应的处理。通过调查发现，有机废气主要来源于制药厂中的调节池。此时可以采用等离子废气处理技术，主要方法为：首先利用排水器将池中的溶液排除，在使用机器将低温等离子体均匀分配至调节池中，由于分配均匀能够实现分解速度的一致性，这样能够实现废气的有效分解。在处理之后，需要使用引风机将气体排出，之后还需要参考《环境空气质量检测规范》对制药厂空气质量进行检验，严格控制空气质量。
低温等离子体不但能够有效清除制药废气，在石油化工等方面也有较好的应用效果，能够有效清除废气中的污染物，避免传统化学处理方法造成的二次污染。有文献通过研究发现，低温等离子体在二氧化硫废气中的清除率高达97，且清除效率较高，在6s内能够达到40的清除率，这就体现了低温等离子体的应用价值6。此外，低温等离子体对于废气中的粉尘也有一定的收集作用。有研究利用气态的苯有机物进行试验，在高能电子的作用下，苯有机物的分解率达到887。低温等离子体的应用方法对于分解率有直接影响，应当采取有效的处理方法，让废气在处理器中停留一定的时间，才能够达到比较理想的清除效率。
低温等离子体具有以下优点：①其是由介质阻挡放电产生的产物，其具有的能量能够作用于任何废气中的污染物上，从而起到较好的分解污染物的效果；②污染后的气体在经过低温等离子体处理之后可以分解为其他固体或无害气体，处理后的气体排放不会对自然环境造成污染，符合国家卫生部门制定的相关标准；③低温等离子体的处理效率非常快，即使接触时间为01s也能够实现废r