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真空计算常用公式
1、玻义尔定律体积V,压强P,PV=常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1P2=V2V1)2、盖吕萨克定律当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1V2=T1T2=常数)当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高或P降低1℃,则它的体积比原来增加或缩小1273。3、查理定律当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即:P1P2=T1T2在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高或降低1℃,它的压强比原来增加或减少1273。4、平均自由程:λ=5×103Pcm5、抽速:S=dvdt升秒或S=QPQ=流量托升秒P=压强托6、通导:C=QP2P1升秒7、真空抽气时间:对于从大气压到1托抽气时间计算式:t=8VS经验公式(V为体积,S为抽气速率,通常t在510分钟内选择。)8、维持泵选择:V=体积升t=时间秒
fS维=S前109、扩散泵抽速估算:S=3D2D=直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:S=0102S罗ls11、漏率:Q漏=VP2P1t2t1Q漏-系统漏率mmHgls容积lP1-真空泵停止时系统中压强mmHgP2-真空室经过时间t后达到的压强mmHgt-压强从P1升到P2经过的时间s12、粗抽泵的抽速选择:S=Q1P预lsS23VlgPaP预tS-机械泵有效抽速率托升秒P预-需要达到的预真空度托升t-达到P预时所需要的时间13、前级泵抽速选择:排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:P
Sg≥PgS或Sg≥PgsP
Pa-大气压值托)V-真空系统容积Q1-真空系统漏气V-系统
fSg-前级泵的有效抽速ls强lsPg-真空室最高工作压强托ls14、扩散泵抽速计算公式:
P
-主泵临界前级压强最大排气压
S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。
S=QP=K
Pt升秒式中:S-被试泵的抽气速率lst-油柱上升
格所需要的时间秒K-滴管系数托升秒
-滴管内油柱上升格数格P-在泵口附近测得的压强托
K=V0L
Υ0ΥmPa△Vt其中V0-滴管和真空胶管的原始容积升L-
滴管刻度部分的长度mm
-滴管刻度部分的格数格的比重克厘米3Υm-汞的比重克厘米3强托△Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积升格15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:S=πZ
LKvD2d224×104ls式中r
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