ITO薄膜基础知识
一、ITO薄膜的概念ITO薄膜是I
diumTi
Oxides的缩写。作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。ITO是一种N型氧化物半导体氧化铟锡ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜通常有两个性能指标电阻率和透光率二、ITO薄膜的应用ITO薄膜具有优良的光电性能对可见光的透过率达95以上对红外光的反射率70对紫外线的吸收率≥85对微波的衰减率≥85导电性和加工性能极好硬度高且耐磨耐蚀因而在工业上应用广泛在高技术领域中起着重要作用。主要用途有（一）用于平面显示ITO薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能所以它作为液晶显示器用的透明电极获得高速发展约占功能膜的50以上例如液晶显示LCD、LED、电致发光显示ELD、电致彩电显示ECD等。随着液晶显示器件的大面积化、高等级化和彩色化LCD将超过CRT成为显示器件中的主流产品。因而ITO薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等。
f（二）用于触摸屏目前市场上，使用ITO材料的电阻式触摸屏和电容式触摸屏应用最为广泛。1、电阻式触摸屏薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的ITO材料阻抗低，但是透明性会变差。在PET聚脂薄膜上沉积时，反应温度要下降到150度以下，这会导致ITO氧化不完全，之后的应用中ITO会暴露在空气或空气隔层里，它单位面积阻抗因为自氧化而随时间变化。这使得电阻式触摸屏需要经常校正。电阻式触摸屏的多层结构会导致很大的光损失，对于手持设备通常需要加大背光源来弥补透光性不好的问题，但这样也会增加电池的消耗。电阻式触摸屏的优点是它的屏和控制系统都比较便宜，反应灵敏度也很好。2、电容式触摸屏电容式触摸屏也需要使用ITO材料，而且它的功耗低寿命
f长，自从Apple推出iPho
e后，友好人机界面、流畅操作性能使电容式触摸屏受到了市场的追捧，各种电容式触摸屏产品纷纷面世。而且随着工艺进步和批量化，它的成本不断下降，正逐步取代电阻式触摸屏。
表面电容触摸屏的ITO涂层通常需要在屏幕的周边加上线性化的金属电极，来减小角落边缘效应对电场的影响。有时ITO涂层下面还会有一个ITO屏蔽层，用来阻隔噪音。表面电容触摸屏至少需要校正一次才能使用。
感应电容式触摸屏与表面电容触摸屏相比，可以穿透较厚的覆盖层，而且不需要校正。电容式触r