柔性非晶硅薄膜太阳电池技术在过去的几十年中，人类经济活动的持续高速发展使得电力需求迅速增加。太阳电池是一种利用光生伏特效应将太阳能能直接转换为电能的半导体器件，很容易实现并网发电或作为独立能源。众所周知，太阳电池发电具有许多优点，如安全可靠，无噪声，无污染，能量随处可得，不受无需消耗燃料、无机械转动部件、故障率低、维护方便、可以无人值守、规模大小随意、可以方便地与建筑物相结合等，这些优点都是常规发电所不及的。目前，太阳电池发电在航天、通讯及微电子领域已占据了不可替代的位置，但在社会整体能源结构中所占比例很小，主要原因是太阳电池成本较高，要使其真正成为能源体系的组成部分，必须大幅度降低成本。薄膜太阳电池在降低成本方面比晶体硅单晶或多晶太阳电池具有更大的优势，一是实现薄膜化后，可极大地节省昂贵的半导体材料二是薄膜电池的材料制备和电池同时形成，因此节省了许多工序三是薄膜太阳电池采用低温工艺技术，不仅有利于节能降耗，而且便于采用廉价衬底玻璃、不锈钢等。为此自上世纪70年代以来，世界各国纷纷投入巨资，制定规划，组织队伍，掀起对薄膜太阳电池的研究热潮，三十几年来在研究和开发应用方面均取得了长足的进步。薄膜太阳电池主要涉及非晶硅aSi：H、铜铟镓硒CuI
、GaSe2，CIGS和碲化镉CdTe光伏电池和集成组件，在本文中主要讨论的是目前商业化最成熟的非晶硅太阳电池。薄膜太阳电池按衬底分为硬衬底和柔性衬底两大类。所谓柔性衬底太阳电池是指在柔性材料如不锈钢、聚酯膜上制作的电池，与平板式晶体硅、玻璃衬底的非晶硅等硬衬底电池相比，其最大的特点是重量轻、可折叠和不易破碎。以美国U
iSolar公司采用不锈钢作衬底为例，不锈钢的厚度仅为127um，且具有极好的柔软性，可以任意卷曲、裁剪、粘贴，既使弯成很小的半径，作数百次卷曲，电池性能也不会发生变化。而以高分子聚合物聚酰亚胺为柔性衬底制备的非晶硅太阳电池，器件总厚度约100um左右含封装层，功率重量比可达到500WKg以上，比不锈钢衬底非晶硅电池高出近十倍，是世界上最轻的太阳电池。从制备工艺上看，由于此结构电池采用卷对卷rolltoroll工艺制造，便于大面积连续生产，降低成本的潜力很大，具有很强的竞争力。柔性衬底太阳电池能被安置在流线型汽车的顶部、帆船、赛艇、摩托艇的船舱等不平整表面、房屋等建筑物的楼顶与外墙面。另外由于柔性薄膜电池具有较高的质量比功率500Wkg，同时具有r