JIANGSU
UNIVERSITY
光电功能材料论文
论文题目透明导电薄膜学生姓名刘专业班级光电学
宗涛
1102
号3110707033
f透明导电薄膜摘要：本篇论文不是按照传统的论文格式书写，而是按照思维的一个逻辑性做出对透明导电薄膜的介绍、制备、参数、及发展趋势作出论述。选题是薄膜功能材料，选择透明导电薄膜是因为它在太阳能电池的组成部分之一，对太阳能电池的性能起到很重要的作用。
首先让我们认识一下透明导电薄膜，透明导电薄膜，顾名思义，是一种兼具透光性和导电性的一类功能薄膜材料，而在专业层面是指对可见光波长λ在380780
m范围内的透射率高且电导率高的薄膜。确切地说可见光的平均透光率Tavg80、电阻率在103Ωcm以下的薄膜才能称为透明导电膜【1】韩雪夏慧吴丽君透明导电膜及靶材J电子元件与材料19981713035。不过鱼和熊掌不可兼得，透明就意味着材料的能带隙宽度大Eg3eV而自由电子少面电导率高的材料往往自由电子多而像金属】（李玲向航功能材料与纳米技术M另一方
从而不透明【2北京化学工业
出版社2002）。也就是说对固体材料来说，透光度和导电性是一对矛盾的属性。所以只有能同时满足这两种条件的材料才能在透明导电膜上应用。自1907年Bakdeker第1个报道了CdO透明导电膜以来，经过近一个世纪的研究目前的透明导电薄膜主要有金属膜、金属氧化物膜、其他化合物膜、高分子膜、复合膜等。其中应用范围最为广泛的是前两种。而用在太阳能电池上面的主要是
fFTO（氧化锡薄膜）、AZO（氧化锌铝薄膜）、ITO（氧化锢锡薄膜）三种。透明半导体薄膜因其透明、导电的优异性能而应用广泛，除了应用在太阳能电池之外，在很多其他领域也有广泛应用。透明导电薄膜在能源、信息、国防等领域具有广泛的应用价值和重要的研究意义。作为光电子器件的关键电极材料，在平面显示、触摸屏等领域具有巨大的市场需求。此外，透明导电薄膜还可应用于低辐射玻璃建筑、汽车、冰箱中的环保隔热玻璃、节能电致变色窗、除霜除雾玻璃、抗静电涂层、防电磁干扰透明窗、红外至雷达波段的宽频谱隐身材料及气体传感器等方向。透明导电薄膜的制备工艺：（1）衬底材料衬底材料的选择除要求其透明外还需考虑它与透明导电薄膜热膨胀系数的匹配。衬底一般采用非晶SiO2涂层的钠钙玻璃SiO2涂层的作用是抑制玻璃中的Na向AZO薄膜扩散、单晶硅、Z
S等硬衬底材料的聚合物材料。（2）物理r