次
≥05um
≥5um
f100
566
85
10000
283
85
100000
283
85
注意：确认洁净室（区）送风量和压差达到要求后，进行采样；对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜朝上；布置采样点时，应避开回风口；采样时，测试人员应在采样口的下风侧。
（4）结果计算A、采样点的平均粒子浓度
C1C2…C
A
N
式中：A某一采样点的平均粒子浓度，粒（个）立方米；Ci某一采样点的粒子浓度I123…
，粒（个）立方米；N某一采样点上的采样次数，次；B、平均值的均值
A1A2…A
M
L
式中：M平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒（个）立方米；
Ai某一采样点的平均粒子浓度I123…
，粒（个）立方米；
L某一洁净室（区）内的总采样点数，个；C、标准误差
A1M2A2M2…ALM2SE
LL1
式中：SE平均值均值的标准误差，粒（个）立方米；D、置信上限从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95）计算得到的
f估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限。UCLMt×SE式中：UCL平均值均值的95置信上限，粒（个）立方米；t95置信上限的t分布系数，见下表
采样点数L2
3
4
5
6
t
631292235213202
注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。
7194
8190
9186
＞9
（5）结果评定判断悬浮粒子洁净度级别应依据以下两个条件：每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。全部采样点的粒子浓度平均值均值的95置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。
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