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电子玻璃基板清洗系统的优化设计及应用
作者：付冬伟马岩杨忠杰王俊明来源：《中国科技纵横》2013年第16期
【摘要】基于长期对电子玻璃基板清洗工艺的经验积累，对清洗系统中的盘刷清洗单元、喷淋清洗单元、烘干输出单元的原有设计的不足进行了分析讨论，并对其实施了优化设计改造。优化结果表明，优化改造后经过清洗的玻璃基板表面颗粒显著减少，破片几率明显降低，产品良率得到提高，这不但有利于生产经济效益的增加，而且也为国内同行提供了宝贵的经验借鉴。【关键词】电子玻璃基板清洗单元优化设计应用液晶平板显示以其技术成熟、性能稳定、轻薄、节能、环保等优势如今已经进入规模化生产阶段，然而作为液晶显示面板生产所用的关键上游原材料电子玻璃基板的核心生产技术却长期掌握在美国康宁、日本旭硝子、日本电气硝子和日本板硝子等四家国外公司的手中。近两年，在国家产业政策的积极引导及战略产业面临转型升级的大背景下，中国大陆的电子玻璃基板制造业才有了初步发展1～3。电子玻璃基板制造工艺主要分为熔融成型、划线掰断和研磨清洗三大核心技术工艺。研磨清洗工艺作为电子玻璃生产的最后一道核心技术，其在确保产品的最终品质方面具有重要地位。电子玻璃基板清洗系统主要包括预湿单元、盘刷清洗单元、超声波清洗单元、滚刷清洗单元、喷淋清洗单元以及基板烘干输出单元等，这些单元彼此独立而又相互关联，在其共同配合作用下，确保最终经过清洗的玻璃基板光滑洁静，达到液晶面板制造所用基板的要求标准4，5。由于国内大陆液晶玻璃产业发展较晚，玻璃基板清洗工艺设计及应用经验不足，导致国内企业目前在此方面存在着基板清洗颗粒度较高、破片率高、划伤严重等问题，从而严重制约着企业综合良品进一步提升。这里，我们基于对清洗工艺的长期应用经验积累，对清洗工艺组成系统单元中的盘刷清洗单元、喷淋清洗单元、烘干输出单元的原有设计实施了优化改造，通过技术改造，极大减少了基板表面的颗粒数，降低了基板清洗破片的几率，提高了最终输出产品的光洁度质量及良品率，从而提高了企业的经济效益，也为国内同行技术的优化和完善提供了宝贵的经验借鉴。1盘刷清洗单元的优化设计及应用盘刷清洗单元的主要功能是：通过安装在与玻璃传输方向水平垂直的驱动轴上的一排盘刷对传输中的玻璃基板进行机械力刷洗作用，以促使粘附在玻璃基板表面的玻璃切割碎屑、研磨粉等颗粒被强力去除。11r