空气洁净度等级标准及规范
空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的洁净度等级。例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ7384），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ7190）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。GBJ7384规定的洁净度等级等级100100010000100000每立方米（升）空气中》05μm尘粒数《35100（〈35〉《351000（〈35〉《3510000（〈350〉《35100000（〈3500〉《250（〈025〉《2500（〈25〉《25000（〈25〉每立方米（升）空气中》5μm尘粒数
ISO1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒m3）01μmISO1ISO2ISO3ISO4ISO5ISO6ISO7ISO8ISO910100100010000100000100000002μm2242372365236512365141010210181017610176343535235173516835167635167573516757288383283188317683176483176382929329252925129251103μm05μm1μm5μm
1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级还有著名的美国联邦标准（FedSt209系列）可以参考；2，ISO1644的ISO5相当于FedSt209系列的100级（≥05μm粒子，≤35颗升，或100颗ft3，或3530颗m3）3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用05μm粒径考核的居多；4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如05μm）而要用到更多的粒径，如03μm02μm甚至01μm。
f空气洁净度
空气洁净度1．空气洁净度和级别空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高，含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。洁净度标准的制定以前有关国家都各自制定自己的标准，但基本上都是参照美国标准FS209的各版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类：一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名，这种命名方法以美国FS209A～E版为代表，其规定粒径为05μm，以空气中≥05μm粒径的粒子浓度采用英制pcft3直接命名，如标准中的100级，表示空气中≥05μm粒径的粒子浓度为100pcft3直接命名，即每立方英尺的空气r