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气态膜分离技术对含氨废气的回收
作者：沈娟来源：《环境与发展》2018年第07期
摘要：超纯氨气是电子工业中的重要电子气体，LED外延片在生产过程中，整个MOCVD反应过程在富N的环境下进行，每台MOCVD一天要用超纯氨气约40kg。氨气在MOCVD炉中只有约003的N随反应氨气进入外延片中生成N层；约2997的氨气分解成氮气和氢气，最终以气态形式排入大气；约70的氨气未发生反应。大量的气态氨通过管道排出，造成原材料的浪费。氨气是一种无色、有刺激性恶臭味的气体，它在常温下为气态，极易溶于水，氨作为国家法规限值排放污染物，具有毒性和腐蚀性，易对生态环境造成污染，因此MOCVD排放的废氨气处理已经成为LED芯片生产厂家迫切需要解决的问题。某光电公司为了防止废气排放对周围环境造成污染，决定利用气态膜分离技术对排放的含氨废气进行回收成一定的氨水，并产生一定的经济效益，达到变废为宝的目的。
关键词：含氨废水；气态膜；膜分离技术；氨水
中图分类号：X701文献标识码：A文章编号：2095672X（2018）07009902
DOI：1016647jc
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