洁净区尘埃粒子数监测标准操作编号
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规程
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日期
颁发
批准
日期
生效
发放质保中心
SOP0910172页码14
质量保障部年1月20日
依据：目的：建立洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程
范围：生产车间洁净区、生测室
1洁净标准：测试仪器及测试条件。
洁净级别及标准
洁净级别
尘粒数立方米
≥05um
＞5um
100级
3500
0
10000级
350000
2000
100000级
3500000
20000
300000级
1050000
60000
2测试仪器
Y099型激光离子数计数器
3测试条件
31静态测试：系指洁净厂房的空气净化系统已处于正常运行状态，生产设备已安装，
室内没有生产人员的测试。
32动态测试：洁净厂房的空气净化系统已处于正常状态，生产设备及生产人员已处
于正常生产状态的测试。
3．3测试工作应在动态条件下进行。
3．4采样管为仪器所使用的。
f3．5仪器须经预热进入稳定状态后，方可测试记录，每个测试点连续35次即连续读数每次检测周期为2mi
，采样量5．66L／mi
。
3．6测试时，对环境测试参数应有记录。4、测试点的确定及采样次数4．1万级、十万级洁净区域的测试，根据洁净区域的面积的大小及形状选择测试点应遵循。4．1．1平而面积小于5平方米且呈狭长形状的区域，可设3个检测点。如图：
123
23
4．1．2平均面积大于5平方米，小于30平方米的区域，可用对角线五点法。





4．1．3平面面积大于30平方米的区域可适当增加检测点。
5．测试数据的处理及判断
51如各测试点的测试植均不超过（超过）该洁净级别规定的限度时，即可判为符合
（不符合）洁净级别要求。
5．1．1测试结果取各测试点读数平均值时，按公式C（C1C2C3…Cm）m计算，单位：个平方米
式中：C1、C2、…C
分别为第1、2…、m为次读值m为采样次数。
f5．1．2测试结果全部测试点测试平均值时，按公式N（C1C2C3…C
）
计算，单位：个平方米
式中：C1、C2、…C
分别为第1、2…、
为测试值
为测试点数。52如在选定的所有测试点中，各测试点的测试值出现有超过或不超过该洁净级别规定的限度时，按下列公式计算：（1）分别求出各采样次数的平均值，单位：个平方米C（C1C2C3…Cm）m（m为采样次数）2求全部采样测试点的平均值，单位：个／立方米NC1C2C3…C
／
为测试点数3求平均值的标准误差
c、求平均值的标准误差
dN

ΣCiCi1
i1
1
求95％置信上限UCL
UCLN±t×dNt为系数，单位：个／立方米
95％置信上限的系数t表r