洁净度等级标准
点击次数：535发布时间：201021
ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在01um～50um范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（01um～50um）、超微粒子（＜01um）和宏粒子（＞50um）。空气洁净度分级标准：ISO146441（国际标准）
空气洁净度等级大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个每立方米空气粒子）
（N）
01um
02um
03um
05um
1um
ISOClass1
10
2
ISOClass2
100
24
10
4
ISOClass3
1000
237
102
35
8
ISOClass4
10000
2370
1020
352
83
ISOClass5
100000
23700
10200
3520
832
ISOClass6
1000000
237000
102000
35200
8320
ISOClass7
352000
83200
ISOClass8
3520000
832000
ISOClass9
352000008320000
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
5um
29293293029300293000
空气洁净度分级标准：GBT162921996（中国标准）
粒径、数值洁净度级别
100级10000级100000级300000级
尘埃最大允许数立方米
≥05um
≥5um
3500
0
350000
2000
3500000
20000
10500000
60000
微生物最大允许数
浮游菌立方米
沉降菌皿
5
1
100
3
500
10

15
美国联邦标准209D洁净室分级：（已停用）
空气洁净度等级大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个每立方米空气粒子）
（N）
01um
02um
03um
05um
1
35
75
3
1
5um
f10100100010000100000
350
75
30
10
750
300
100
1000
7
10000
70
10000
700
英国5295标准洁净室和空气净化装置分级：
空气洁净度等大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个每立方米空气粒子）
级（N）
03um
05um
5um
10um
C
100
35
0
D
1000
350
0
E
10000
3500
0
F
3500
0
G
100000
35000
200
0
H
35000
200
0
J
350000
2000
450
K
3500000
20000
4500
L
200000
45000
M
450000
25um
0500500050000
各种国际标准的比较：
美国联邦美国联邦英国标准澳大利亚标准法国标准
德国标准国际标准日本标准
标准209D标准209EBS5295AS1386
AFNORX44101VDI2083146441
JACA24
1
1

0
2
2
1
M15
C
0035

1
3
3
10
M25
D
035

2
4
4
100
M35
E
35
4000
3
5
5
1000
M45
G
35

4
6
6
10000
M55
J
350
400000
5
7
7
100000
M65
K
3500
4000000
6
8
8
M
7
9

fr