、化学束外延（CBE）以及它们的各种结合型等多种工艺。半导体激光器的应用覆盖了整个光电子学领域，已成为当今光电子科学的核心技术。由于半导体激光器的体积小、结构简单、输入能量低、寿命较长、易于调制及价格低廉等优点，使得它目前在军事领域中应用非常广泛，它作为一种很有潜力的光源，已受到各国军方的高度重视。以美国为例，美国国防部、宇航局、各军兵种以及国家实验室等20多个部门都在为武器装备研制高功率半导体激光器，使得美国在这一领域处于世界领先地位。随着新型半导体材料不断涌现、半导体激光器结构的不断完善和半导体激光器应用的日益开拓，半导体激光器研究也取得了突飞猛进的进展。20世纪80年代开展了半导体激光器阵列的研究，最初主要集中在锁相阵列上，以求获得窄的衍射极限光束。这个工作一直到共振漏波耦合阵
fGaAs扫描激光雷达，1977年研制出了第二代，作用距离90km，这种飞船载雷达机动性好，总重量为18kg。半导体激光雷达已用于卫星对接系统，该雷达系统由几个子系统组成，一部分安装在第一卫星上，另一部分安装在第二个卫星上。此外，在1977年之前美国就开发出了一种便携式GaAs激光雷达，它用GaAs激光器照明。进入80年代以后，非合作目标探测的半导体激光雷达发展起来并用于航天飞机回收卫星时的精确定位等。在海湾战争中，半导体激光雷达曾用于直升机在甲板上的起降控制和防止直升机夜间飞行中与沙丘碰撞。研制这种半导体激光雷达有美国LaserTech
ology和LaserAtlata等公司。此外，美国的休斯公司、Schwatz公司、Sparta公司、洛雷尔系统公司以及法国的汤姆逊公司等在80年代末至90年代初还分别研制出半导体激光成像雷达，用于战场侦察、低空飞行器下视和防撞以及主动激光制导等。半导体激光雷达已成功地用于常规兵器。美国桑迪亚国家实验室受到高功率半导体激光器发展的推动，研制了一种125mW半导体激光的测距、成像激光雷达。它能够以4次s的速度更新图像，相当清晰地区分装甲车的类型和人、车之间距离，可用为常规兵器自动目标识别和瞄准修正系统的组成部分，也可作为机器人的视觉系统以及自主飞行器的控制系统。新型半导体激光雷达除了具备上述半导体激光雷达的优点外，还具备以下特性；（1）与被动探测（红外系统）相结合；（2）多种成像功能，包括强度成像、距离成像和速度成像；（3）具有先进的实时图像处理功能，包括各种成像的综合、图像跟踪和目标的自动识别等。美国桑迪亚国家r