X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。
f19、水环真空泵泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。
20、往复真空泵利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。
21、油封机械真空泵用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。
22、罗茨真空泵具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。
23、涡轮分子真空泵有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
24、油扩散真空泵扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除
25、低温真空泵利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。
f26、冷阱（水冷挡板）置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
27、气镇阀油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
28、真空冷冻干燥真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。
29、真空蒸镀在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。
30、真空干燥利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
31、真空系统常用名称1主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺
要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。2前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的
真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
f3粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
4维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
真空计算公式
1、玻义尔定律体积V，压强P，PV＝常数一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即P1P2＝V2V1
2、盖吕萨克定律当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：V1V2＝T1T2＝常数r