3）当铜箔达到目标温度后，通入氢气还原退火，流量为60sccm，Ar气流量与温度保持不变；4）20mi
后，通入1050sccm甲烷、100sccm氢气和1000sccmAr气，生长515分钟后，关闭甲烷和氢气，在Ar气气氛下随炉降温。得到样品。评价：CVD法制备石墨烯产物通常具有较大的面积，较高的结构质量，缺陷少，并且层数可控。由于CVD方法制备石墨烯简单易行，所得石墨烯质量很高，可实现大面积生长，而且可以转移到各种基体上使用。还可以在较低的温度下进行，从而可以降低制备过程中能量的消耗，并且，石墨烯与基底可以通过化学腐蚀金属的方法容易的分离，有利于后续对石墨烯进行加工处理。
（2）球磨法原理：
基本原理在于使用机械作用力来克服石墨层间的范德华力，从而使石墨烯得到分离，最终得到一小部分的单层石墨烯。该法采用机械力来分离已知的最薄材料，要求炭材料前驱体必须要有良好的解理性
球磨法是粉末工业中一种常用的技术，是一种很好的产生剪切力的方法。在大多数球磨
f设备中，有两种途径可以达到剥离和粉碎的效果。第一种是剪应力，被认为是很好的剥离机械途径。这种方法可以制备大尺寸的石墨烯薄
片。第二种是球在碾压作用下发生碰撞和垂直冲击作用。这种方法可以粉碎石墨烯薄片，有时甚至可以晶体结构粉碎成非晶型或者不平衡相。
因此，期望的是减小第二种应力从而制备出高质量大尺寸的石墨烯。工艺过程：
1）先称取20g石墨放入干净球墨罐内；2）按照球料比10：1称取不锈钢球（直径5mm12mm15mm体积比311）；3）添加100ml无水乙醇后加盖密封，在行星球磨机上研磨12h（球磨机自转速度1200rmi
公转速度600rmi
）；4）试验过程中每隔4h加入20ml无水乙醇，结束后将球磨罐中产物干燥得到黑色粉末；5）将此粉末再放入清洗干净的球磨罐中干研磨16h后取出产物（球料比同湿磨）；6）将产物称取约2g加到1000ml无水乙醇烧杯中，密封后放入超声波清洗器中24h，（温度为2030℃）然后将石墨烯溶液在10000rpm离心机上离心5mi
；7）离心后用滴管取上层清液滴到新的云母片上，在密封环境下自然风干得到石墨烯样品。得到样品。评价：起初，球磨法被用于减小石墨的尺寸，制得石墨片厚度可以小于10
m。但是这种方法没有进一步得到石墨烯。直到2010年，相同的理念在液相超声制备石墨烯中得到了应用，K
ieke和Zhao等人改进球磨技术后得到了石墨烯。创新性工作结束后，球磨法制备石墨烯得到了蓬勃的发展，行星球磨机和搅拌球磨机这两种技术得到了广泛的应用。球磨法的r