制、微机化全自动控制、多用途、
f易维护、操作简便的特点，能快速反应，定位、定量、定性的反映漏孔的情况，广泛应用在航天航空核能利用，科研，电子电工，制冷和汽车工业，真空科学，冶金，化工，半导体，通讯，压力容器，精密机械加工等领域。泄漏的检查，存在着各种各样的方式，其中之一便是使用氦质谱检漏仪的检查方式。利用氦气作为示踪气体，来对各种容器的泄漏、微漏和渗漏包括材料本身的进行检测。使用氦气进行检漏是考虑到氦气具有以下一些优点：（不用氢气，因为氢气有可燃可爆的危险性）氦气在空气中含量非常少，只有5ppm（空气中占约1200，000）；在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少；由于氦分子量小、分子直径小（在元素周期表中在仅排在氢的后面），即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过；由于具有化学上的不活跃性，不会污染排气系统及被测试物体；由于具有对人体无害性和不可燃爆性，因此使用安全方便；对分析管的分辨率要求并不高，容易实现高灵敏度；不存在环境污染问题。二．氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。三．氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。（一）喷氦法喷氦法是最常用，最方便的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。喷氦法检漏中应该注意以下几个问题：1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷枪所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷枪喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会r