频率的变化提供确定速率与镀厚的信息，并连续控制蒸发源的功率。在用
户设定要求的时间、厚度、速率、材料特性和功率限值后，仪器能精确和可重复地自动控制
镀膜过程。用户通过仪器的面板操作，包括工艺参数的选用和输入。
ic5整个系统包括主电子学单元，传感器探头和晶体接口单元（xiu），用于每个连接的
传感器。这些组件整套供应，也可单独订购。ic5说明书提供仪器的安装、编程、校准
和主电子学单元的运行。
阅读ic5说明书，请特别注意文中的注、注意和警告。注、注意和警告的定义在12
页的第121节中。请将有关本说明书有用性与精确性方面的意见填写在登记表中，返回我
公司。
111
相关说明书
传感器包含在各说明书中。
074154可烘烤074155六探头074156单双074157溅射
11
第3章作
操
31面板控制
ic5的操作控制位于仪器的面板上，如图31所示。
图31
1c5的控制面板
12
crt显示屏
显示图形、菜单、状态和故障信息。功能键
在显示屏边上有一列功能键：f1至f6。用于选择显示或菜单项。其功能在显示中指示，
并在下面的章节中说明。
3数据输入键
键盘上有从0至9的数字键和是（y），否（
），输入（e）。清除（c），打印与菜单等键，
用于参数的选择与输入。所有数字和是否键必须接着按输入键（e）确认输入。清除键（c）
用于抹去错误的输入数据。如已输入一个无效的值，使用清除键可抹去错误的信息，重新显
示最近的有效数据。菜单键用于导航仪器的显示器。
31
456
系统开关
一列3个键用于工艺过程控制的启动、停止和复位功能。见323页的342节。35″
软盘存取口
35″，144mb软盘选件的插口。电源
这个开关控制仪器o
与待用之间的切换功能。当按钮按下时电源o
。仪器初始化约5
秒钟后出现显示。
f7指示灯
在电源开关边上，打开电源，绿色指示灯亮。
8遥控插口
用于连接手动遥控器的插口。
9光标键
一组4个键用于移动显示器的光标向上、向下、向左或向右。这组键自动重复；只要按
住键，光标即连续移动，直至显示器的边界。
10亮度调节
显示器亮度调节电位差计的插孔。用非导电的tv调节工具，顺时针旋转电位差计来增加
亮度。
32
32
图32
后面板接口
ic5的接口位于仪器的后面板上，如图32所示。
ic5的后面板
1234567
ieee488插座（选件）
连接ieeegpib接口的插座。
传感器插座通道1和2（标准）
连接仪器的两个标准传感器通道的插座。
传感器插座通道3和4（选件）
适配两个附加传感器选件3和4r