统中,传感器是不可缺少的且在一定程度上是决定系统性能的重要部件。因此,无论是材料、元器件和部件,还是系统研发者对传感器进展高度关注。传感器是科学和工程结合产物,既依赖于科学的新现象和新规律,又依赖于新技术和工艺。随着人类对材料的新认识、基础研究进展、智能系统的突破,传感器正在日新月异的发展。诸如:光纤传感器、光纤传感器、集成传感器、MEMS传感器;、模糊传感器、智能传感器、多功能传感器、模型传感器、网络传感器、生物传感器。⒈光纤传感器光纤传感器是利用光纤元件的传感器。与传统传感器相比,光纤传感器具有敏感度高、抗电磁干扰、耐腐蚀、电绝缘性好,便于与计算机和被测实物连接,结构简单、体积小、重量轻、耗电少、适合于有毒有害、防火防爆环境及远程分布场合应用等优点。光纤传感器可探测的物理量很多,已应用的光纤传感器可测量近百种物理量。例如,压力、水声、应变、表面粗糙度、振动、位移、加速度、温度、流量、电磁场强度、大电压、大电流、辐射强度、体温、体压、血流、血液成分、血气成分、大气成分等。⒉集成传感器集成传感器是利用集成电路工艺镀膜、掩膜、腐蚀等将半导体敏感元件及测量处理电路集成在一个芯片上的传感器。集成传感器具有体积小、重量轻、高精度、高频响,且可做到高可靠、长寿命、低功耗、低成本,是一代新型传感器。目前,已广泛用于石油、化工、机械动力、气象、地质、生物医学及航空、航天、航海等领域。⒊MEMS传感器MEMS传感器是利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上的传感器。MEMS是微电子机械系统的缩写,一般简称微机电。MEMS传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易批产、成本低、可测量各种物理量、化学量和生物量等优势,在航天、航空、航海、兵器、机械、化工等领域,尤其是汽车工业获得较广泛应用,且国外已形成MEMS产业。目前已有MEMS压力传感器、加速度计、陀螺、静电电机、磁力矩器、电池、多路转换开关和矩阵开关等。
f⒋模糊传感器模糊传感器是基于模糊集理论和技术,将输入的模拟或数字被测量即传统传感器的输出量转换成模糊量的传感器。模糊集合论认为某元素既属于集合A又属于集合B,由隶属函数值判断最终所属的集合,而经典集合论认为某元素属于集合A就不属于集合B,反之亦然。模糊传感器的原理是将被测量值范围划分成若干区间,利用隶属度值判断被测量值所处的区间,r