向工业设备、物流系统、城市交通系统、自动化系统等的
高性能特种电机及其控制技术的开发和应用；（2）智能控制功率模块（IPM），用户专用功率模块（ASPM）以及
采用功率总线技术集成的高可靠模块的开发；（3）面向交通、电力、冶金等领域需求，应用具有自主知识产权
芯片和技术的电力电子和电力传动设备的开发；（4）（5）大功率电力传动系统可控起动设备的开发和应用；分布式供能系统高压变流器及软开关设备的开发；
f（6）电气化铁路同相供电装置和高速货运机车牵引变流器的开发；（7）城市轨道交通能馈式牵引供电系统及牵引传动系统的开发。
申请条件是：装置已投入示范应用，必须提供相应的性能检测报告、用户使用报告和订货合同。
6、大规模集成电路制造关键工艺与装备制造工艺技术和装备是影响大规模集成电路产品性能、产品质量和成品数量的主要因素。鼓励企业通过自主创新，或在引进、消化、吸收的基础上进行再创新，开发出先进的、高性能的大规模集成电路制造关键工艺与装备，并投入应用。以提升大规模集成电路制造的技术水平、生产效率、产品性能、产品质量和成品数量。本年度重点支持：（1）用于大规模集成电路制造的匀胶工艺技术与装备、刻蚀工艺
技术与装备、离子注入工艺技术与装备和后封装工艺技术与装备，以及相应的分析软件与自动化控制装置；（2）装备；（3）大规模集成电路制造关键设备专用部件及控制技术，包括超大规模集成电路制造节能、降耗、减排先进生产工艺技术与
净间机械手、纳米级超精密工作台、精密喷嘴、磁浮真空泵等。申请条件是：装备已投入示范应用，必须提供相应的性能检测报告和用户使用报告。
7、纺织行业专用设备纺织机械的更新换代体现在数字化纺织机械和绿色纺织机械产品，以及提高纺织机械制造加工的技术水平，提高产品质量和生产效率。本年度重点支持：（1）采用高精度驱动、智能化控制、高可靠性技术等开发的纺织
机械专用配套部件；（2）建立在计算机及网络技术应用基础上的在线检测控制系统和
高性能的产品检测仪器；申请条件是：产品已投入示范应用，必须提供相应的性能检测报告和用户使用报告。
f本年度不支持：性能一般的普通纺织机械。
8、轻工行业专用设备轻工行业与国计民生密切相关。轻工装备作为机械制造装备的分支，是保证生产轻工产品、丰富人们物质文化生活的重要物质基础，它也随机械制造工业的科技进r