算机或微处理器控制的设备，如图36。设备的能力各不相同，从支持单个试样的设备到支持六个试样的设备，甚至更多试样的设备都可用于研磨和抛光步骤。
这些自动设备与手工制备相比，不仅使得操作者可以每天制备大量高质量的试样，同时还可减少耗材的成本。自动抛光设备可以获得最佳的表面平整度和边缘保持度。
图35研磨抛光机和动力磨抛头
图36全自动试样制备系统
f自动抛光
自动抛光中有两种方式比较接近手工制备试样。第一种是中心加载，利用试样夹持器，试样被紧紧夹持不动。试样夹持器带着试样向下压，向下的载荷被施加在整个试样夹持器上。中心加载能获得最佳的表面平整度和边缘保持度。
腐蚀之后，如果发现结果不好，那么试样必须放回试样夹持器，所有的制备步骤必须重复进行。为了替代重复进行所有的制备步骤，许多金相工作者只手工重复最后步骤，然后重新腐蚀试样。
第二种方法为单点加载，利用试样夹持器，但试样宽松的放在试样夹持器里。载荷通过单独的活塞拄施加到每个试样上，这样每个试样上的压力都不同。这种方法对制备过程中的表面检查来说，很方便，检查之后也没有要把所有试样恢复到同一表面的问题。
另外，如果腐蚀之后的结果不好，由于试样都是单独而非整体的表面，所以试样可以放回试样夹持器重复最后的步骤。这种方法的缺点是有时会有轻微的摇摆，特别是当试样太高时，试样的表面平整度和边缘保持度就会降低。
f抛光布
好的抛光布要求能保持住研磨颗粒，较长的使用寿命，没有会产生滑痕的其它外在物质，不会产生任何物质（例如染色剂或胶粘剂）与试样的化学反应。
抛光布可以由各式各样的织物、编织或绒毛生产出来。无绒或短绒抛光布被推荐与金刚石研磨剂相配合进行粗抛光；无绒或短绒、中绒、长绒偶尔抛光布用于最终抛光，这样可尽量减小浮雕。下表6列出了美国Buehler公司的抛光布种类，特性和适用范围，以作参考。
f抛光布
表9抛光布选择参考表
f抛光布
续表9抛光布选择参考表
f抛光研磨剂
抛光过程通常要使用一种或更多种抛光研磨剂，常用的抛光研磨剂包括：金刚石、氧化铝Al2O3和不定形二氧化硅SiO2悬浮液。
对于某些材料，可能会使用氧化铈、氧化铬、氧化镁或氧化铁作为研磨介质，但使用得不是很普遍。除了金刚石外，这些研磨介质通常都以去离子水悬浮液的形式提供，但如果被抛光的材料是那种与水不亲和的材料时，可能需要使用其它的悬浮液，例如：己二酸乙二醇、酒精、煤油以及甘油悬浮液。
所述金刚石研磨介质r