磁敏传感器国内外概况及其应用200641294005“磁敏传感器是传感器产品的一个重要组成部分，随着我国磁敏传感器技术的发展，其产品种类和质量将会得到进一步发展和提高，进军汽车、民用仪表等这些量大面广的应用领域即将实现。国产的电流传感器、高斯计等产品日前已经开始走入国际市场，与国外产品的差距正在快速缩小。”在2006中国东北第九届国际工业博览会同期举办的自动化学会研讨会上，来自沈阳仪表科学研究院的孙仁涛教授，为前来参展的观众做了有关磁敏传感器国内外概况及其应用的介绍，可谓一场磁敏传感器技术的学术交流大会。沈阳仪表科学研究院孙仁涛教授会议现场一、磁敏传感器的发展特点1．集成电路技术的应用。将硅集成电路技术应用于磁敏传感器，制成集成磁敏传感器。2．I
Sb薄膜技术的开发成功，使得霍尔器件产能剧增，成本大幅度下降。3．强磁体合金薄膜得到广泛应用。各种磁阻器件出现，应用领域广泛。4．巨磁电阻多层薄膜的研究与开发。新器件的高灵敏度、高稳定性，引起研制高密度记录磁盘读出头的科技人员的极大关注。5．非晶合金材料的应用。与基础器件配套应用，大大改善了磁传感器性能。6．ⅢV族半导体异质结构材料的开发和应用。通过外延技术，形成异质结构，提高磁敏器件的性能。二、国外磁敏传感器的现状1．国外磁传感器的常见种类就市场占有情况来看，国外磁敏传感器主要品种依然是霍尔元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的发展空间。2．外磁传感器的代表厂商：霍尔元件：日本旭化成；日本东芝；美国Ho
eywell公司；美国Allogro公司。磁阻器件：日本SONY公司；荷兰PHILIPS公司。3．国外磁传感器的应用情况磁敏传感器应用的最大特点是无接触测量。霍尔元件：磁场测量，做高斯计（特斯拉计）的检测探头。电流检测，做电流传感器变送器的一次元件。直流无刷电机，用于检测转子位置并提供激励信号。集成开关型霍尔器件的转速转数测量。强磁体薄膜磁阻器件：位移传感器，主要有磁尺的线性长距离位移测量。
f角位移传感器，主要用语转动角度测量，广泛应用于汽车制造业。脉冲发讯传感器，主要用于流量检测和转速转数测量，如电子水表和流量计的发讯传感器。半导体磁阻器件：主要是I
Sb磁阻器件微弱磁场检测，主要用于伪钞识别脉冲测量，主要用于转速转数测量三、国内磁敏传感器的现状1．国内磁传感器的常见种类及其特点目前国内磁敏传感器经过三十余年的发展，就基础器件的研究与开发情况，r