使用TFCalc编辑膜系的方法(简易操作步骤)
假设我们要设计一个反射率999高反膜系(波长10600
m):条件:(1)基底材料:GaAs(2)膜料:Z
Se,YF3具体步骤:1.点击TFCalc图标进入其操作界面:图中弹出对话框,要求输入要编辑的文件名。因为我们是要新编膜系,则点击“取消”按钮,则只显示如下界面:
图中自左到右的菜单名称中文意思分别是:“文件”、“编辑”、“修改”、“运行”、“结果”、“杂项”和“帮助”。点击其中的任何一项将弹出其包含的菜单内容。
2.点击第一项“File”,弹出如下菜单项:
左图中的中文意思自上到下分别是:新建膜系文件重新打开膜系文件关闭膜系文件保存膜系文件以其他的文件名保存膜系文件恢复原始文件打印膜系打印设置退出TFCalc关于TFCalc
3.点击第一项“NewCoati
g”弹出如下“编辑环境对话框”:
f上图左边图中英文对应的中文意思分别是:
A
gle
角度
I
cide
tMedium入射介质
Substrate
基底
Fro
tLayer
基底前面
BackLayer基底后面ExitMedium
出射介质
在上图的右边框内分别输入:
Refere
ceWavele
gth参考波长:
1580
Illumi
ate(光源):
WHITE(白光)
I
cide
ta
gle(入射角):
00
I
cide
tmedium(入射介质):
AIR(空气)
Substrate(基底)
GaAs(砷化镓)
Thick
ess(厚度)mm
1(一般不考虑基底材料的厚度)
Exitmedium(出射介质)
GaAs(如果是透视膜系,则出射介质一般是空气)
Detector(探测器):
IDEA理想探测器
FirstSurface(第一面)
Fro
t
注:光源、基底材料、探测器应该分别在Illumi
ate、substrate、detector库中存在。这些库可以增减。
4.点击下面的“A
alysisParameters”(分析参数)按钮,弹出下面的对话框:
f因为本例我们考虑是入射角为0的条件,因此选中第一项的圆形无线电按钮Ra
geofwavele
gths(波长范围)(
m),其他的均不选。点击OK按钮,返回上一层对话框,再点击OK按钮,显示如下的反射率与波长的关系曲线图(该图显示的没有镀膜情况下,基底材料的反射率):
图上方的英文字符列出了该图成立的环境条件。现在我们可以进入下一步具体的膜系结果设计,一般高反膜系的结构是HLsH,其中s是大于0的正整数。5.点击“Modify”菜单,弹出如下菜单选项:
f左边菜单项从上到下对应的中文意思是:环境膜堆公式前面层后面层组单一目标连续目标注释可变材料环境材料基底光源探测器分布
6.编辑膜系,有2种方法可以编辑膜系,下面我们分别介绍:(1)使用膜堆公式(a)选择“StackFomula”,弹出如下膜r