是可以直接磨削出能达到光学系统要求的具有光学表面质量和面型精度的硬脆材料光学零件。该机床采用了很多先进的Na
oform600、Optoform50设计思想,机床最大加工工件直径达250mm,它通过一个升高装置使机床的最大加工工件直径达到450mm,另外通过控制垂直方向的液
f体静压导轨Y轴还能磨削非轴对称零件,机床数控系统的分辨率达0001μm,位置反馈元件采用了分辨率为86
m的光栅或分辨率为125
m的激光干涉仪,加工工件的面型精度达025μm,表面粗糙度优于Ra001μm。
Na
oce
tre250、Na
oce
tre600是一种三轴超精密CNC非球面范成装置,它可以满足单点和延性磨削两个方面的使用要求,通过公道化机床结构设计、利用高刚度伺服驱动系统和液体静压轴承使机床具有较高的闭环刚度,x和Z轴的分辨率为125
m,这个机床被以为是符合现代工艺规范的。CUPE生产的Na
oce
tre非球面光学零件加工机床,加工直径达600mm.面型精度优于01μm,表面粗糙度优于Ra001μm。CUPE还为美国柯达公司研究、设计和生产了当今世界上最大的超精密大型CNC光学零件磨床“0AGM2500”,该机床主要用于光学玻璃等硬脆材料的加工,可加工和丈量25m×25m×061m的工件,它能加工出2m见方的非对称光学镜面,镜面的外形误差仅为1μm。日本丰田工机研制的AHN60—3D是一台CNC三维截形磨削和车削机床,它能在X、Y和Z三轴控制下磨削和车削轴向对称外形的光学零件,可以在X、Y和Z轴二个半轴控制下磨削和车削非轴对称光学零件,加工工件的截形精度为035u
l,表面粗糙度达Ra0016μm。另外东芝机械研制的ULG—100AH超精密复合加工装置,它用分别控制两个轴的方法,实现了对非球面透镜模具的切削和磨削,其X轴和Z轴的行程分别为150mm和100mm,位置反馈元件是分辨率为001μm的光栅。
32非球面光学零件的ELID镜面磨削技术日本学者大森整等人从1987年对超硬磨料砂轮进行了研究,开发了使用电解I
ProcessDressi
gELID的磨削法,实现了对硬脆材料高品位镜面磨削和延性方式的磨削,现在该方法己成功的应用于球面、非球面透镜、模具的超精密加工。①ELID镜面磨削原理ELID磨削系统包括:金属结合剂超微细粒度超硬磨料砂轮、电解修整电源、电解修整电极、电解液兼作磨削液、接电电刷和机床设备。磨削过程中,砂轮通过接电电刷与电源的正极相接,安装在机床上的修整电极与电源的负极相接,砂轮和电极之间浇注电解液,这样,电源、砂轮、电极、砂轮和电极之间的电解液形成一个完整的电化学系统。采用ELID磨削时,对所用r