一台具有位置反馈的双坐标数控车床,可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R,实现非球面的镜面加工。加工直径达φ380mm,加工工件的外形精度为±063μm,表面粗糙度为Ra0025μm。摩尔公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M—18AG非球面加工机床,这种机床可加工直径356mm的各种非球面的金属反射镜。英国Ra
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eumo公司于1980年向市场推出了利用激光反馈控制的两轴联动加工机床MSG—325,该机床可加工直径为350mm的非球面金属反射镜,加工工件外形精度达02505μm,表面粗糙度Ra在0010025μm之间。随后又推出了ASG2500、ASG2500T、Na
oform300等机床,该公司又在上述机床的基础上,于1990年开发出Na
oform600,该机床能加工直径为600mm的非球面反射镜,加工工件的外形精度优于0.1μm,表面粗糙度优于001μm。代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯.利弗莫尔LLNL实验室于1984年研制成功的LODTM,它可加工直径达2100mm,重达4500kg的工件其加工精度可达025μm,表面粗糙度Ra00076μm,该机床可加工平面、球面及非球面,主要用于加工激光核聚变工程所需的零件、红外线装置用的零件和大型天体反射镜等。英国Cra
field大学精密工程研究所CUPE研制的大型超精密金刚右镜面切削机床,可以加工大型X射线天体看远镜用的非球面反射镜最大直径可达1400mm,最大长度为600mm的圆锥镜。该研究所还研制成功了可以加工用于X射线看远镜内侧回转抛物面和外侧回转双曲面反射镜的金刚石切削机床。日本开发的超精密加工机床主要是用于加工民用产品所需的透镜和反射镜,目前日本制造的加工机床有:东芝机械研制的ULG—l00AH不二越公司的ASP—L15、丰田工机的AHN10、AHN30×25、AHN60—3D非球面加工机床等。3.非球面零件超精密磨削加工技术31非球面零件超精磨削装置英国Ra
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eumo公司1988年开发了改进型的ASG2500、ASG2500T、Na
oform300机床,这些机床不仅能够进切削加工,而且也可以用金刚石砂轮进行磨削,能加工直径为300mm的非球面金属反射镜,加工工件的外形精度为03016μm,表面粗糙度达Ra001μm。最近又推出Na
oform250超精密加工系统,该系统是一个两轴超精密CNC机床,在该机床上既能进行超精密车削又能进行超扬密磨削.还能进行超精密抛光。最突出的特点是可以直接磨削出能达到光学系统要求的具有光学表面质量和面型精度的硬脆材料光学零件。该机床采用了很多先进的Na
oform600、Optoform50设计思想,机床最大加工工件直径达250mm,它通过一个升高装置使机床的最大加工工r