技术制造生物微型分析或检测仪器，其能够将传统实验室功能集成在一个芯片或一种仪器上，有着智能化程度高、成本低廉、使用方便等优点。生物MEMS能够获取大量信息，相较于传统实验室分析方法来说，其分析效率更高，其能够实现实时通信。在国际上，生物MEMS已经成为了热点研究领域。
23光学MEMS技术
近年来，光通信技术、信息技术不断发展，MEMS与光学之间的结合越来越紧密，即将微电子技术、微机械技术与光电子技术结合在一起，开发出更为先进的微光机电系统3。这种微光机电系统能够将MEMS结构件与各种光学器件集成在一起，由此形成功能更为全面的系统。如基于微光机电系统的新型投影设备、光通信器件等等。
24射频MEMS技术
一般来说，射频MEMS技术大体可划分为两类，一类是固定射频MEMS器件，如滤波器、耦合器等，另一类是可移动的MEMS器件，如微机械开关、可变电容等。
3微机电系统科学与技术发展趋势
31新的应用领域
311微型机器人
微型机器人一直是科学领域的热点研究方向，实质上，微型机器人就是一个微型系统，在桌面大小的地方，就可以完成组装，如微型硬盘、微型驱动器等高精密设备。这种微型机器人在军事领域的应用前景十分广阔，其不仅价格低廉，同时能够大规模的使用，即便是危险地
f龙源期刊网httpwwwqika
comc
区，也可以完成侦查、排雷及生化武器探测等一系列工作，对于减少士兵劳作和伤亡有着积极的意义。除了在军事领域的应用外，微型飞行器还可以在农业领域上应用，通过微型飞行器感知害虫种类和数量，针对性制定灭杀策略，还可感知农作物的湿度、温度等，给农作物管理提供依据。
312微型动力系统
微型动力系统的核心在于有效能源的输出，从体积很小的系统中输出很大的能量。能源问题是关系到人类社会长远发展的重要问题，石油、天然气等都是地球的不可再生能源，而当前市场上一些小型机动车耗费资源是比较大的，微型动力系统的研发则能够有效解决这个问题，发挥其替代作用，多余的空间可以设计座位，大大提高了利用效率。
313大脑调制解调器
在通信技术不断发展的背景下，微型化与大批量生产成为光通信领域的重点研究方向。微型光机电系统则能够有效解决这一问题，这也使得其成为MEMS领域的研究热点。就目前来看，一种高带宽神经接口的研究逐渐受到关注，其能够让人类大脑与外部电子设备相连接，由此实现数据信息的交换，这一创新技术正被研发，实质上就是人通过大脑来对机器进行控制，即大脑调制解调器。
32方便扩展
Mr