《材料分析方法》试验报告
姓名：杨勇
透射电子显微镜介绍分析
班级：04011507学号：2015300975日期：20171118
一、试验目的1了解透射电子显微镜的结构与成像原理；2了解透射电子显微镜的主要功能。
二、仪器介绍：1透射电子显微镜简介透射电子显微镜是一种具有高分辨率，高放大倍数的电子光学仪器，被广泛
应用于材料科学等研究领域。透射电子显微镜的主要特点是可以进行组织形貌与晶体结构同位分析、晶体缺陷分析和晶体结构测定。透射电子显微镜按加速电压分类，通常可分为常规电镜、高压电镜和超高压电镜。提高加速电压，可缩短入射电子的波长，一方面有利于提高电镜的分辨率；同时又可以提高对试样的穿透能力。
图1透射电子显微镜
图2成像系统结构
2透射电子显微镜结构
透射电子显微镜由电子光学系统、真空系统、电源与控制系统三部分组成，
电子光学系统通常称为镜筒，是投射电子显微镜的核心部分。电子光学系统由照
明系统、成像系统和观察记录系统组成。
（1）照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。
电子枪是投射电子显微镜的电子源。常用的是热阴极三极电子枪，而在
高性能分析性透射电镜中多采用场发射电子枪，它分为冷阴极FEG和热阴极FEG，
冷阴极在室温下使用，而热阴极加热到比热发射低的温度使用。
聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照
明强度、孔径角和束斑大小，一般采用双聚光系统。
（2）成像系统主要由物镜、中间镜和投影镜组成。物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。
透射电子显微镜分辨率的高低主要取决于物镜。物镜的分辨率主要取决于极靴的
f形状和加工精度。为了减小物镜的球差，往往在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。
中间镜是一个弱励磁的长焦距变倍率透镜，可在020倍范围调节。放大倍数大于1时，用来进一步放大物镜像；放大倍数小于1时，用来缩小物镜像。
投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上，是一个短焦距的强磁透镜，其景深和焦长都非常大。
在电镜的操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。
成像操作：中间镜的物平面与物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像。
衍射操作：中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一副电子衍射花样。
图3成像系统光路
图4观察记录系统
左边：电子显微图像右边：电子衍r